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提拉式單晶爐特點籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時的系統(tǒng)平穩(wěn)性;籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件,無泄露,長期使用不需充磁;精密花鍵軸及各驅(qū)動直流伺服電機均為進(jìn)口件,確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴(yán)格的靜平衡和動平衡測試,高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動小于2mm,適應(yīng)半導(dǎo)體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導(dǎo)航、精密滾珠絲杠以及進(jìn)口等功能件組合設(shè)計,確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運行。浮動式翻板閥設(shè)在主副爐室之間,可在熱場維持工藝溫度的情況下,取出晶體,更換籽晶和補充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。
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周期式電阻爐的分類A. 箱式爐 B. 臺車爐(分為自行式和牽引式),用作退火之用,加熱后工件隨爐冷卻 C. 井式爐 D. 罩式爐(主要用于退火,加熱罩可吊移) E. 底升式罩式爐(罩子固定,升降底座,適用于大型爐子)F. 轉(zhuǎn)筒式爐 G. 密封箱式爐(又稱為多用爐,可進(jìn)行滲碳、光潔淬火、碳氮共滲等熱處理工藝。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,采用輻射管加熱,輻射管是由耐火陶瓷盤固定的電阻絲裝于一個密封耐熱鋼管中,這樣的結(jié)構(gòu)使?fàn)t內(nèi)氣氛對加熱元件不會有影響) 連續(xù)式電阻爐A. 推送式爐 B. 傳送帶式爐 C. 網(wǎng)帶爐(適用于薄小零件的退火、燒結(jié)、釬焊及固溶處理。結(jié)構(gòu)類似傳送帶式爐)D. 連續(xù)式轉(zhuǎn)筒爐 E. 輥底爐(料盤在輥子上運動)F. 轉(zhuǎn)底爐,