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更新時間:2020-09-25 信息編號:17ivqcl42126e
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產品別名
硅片
面向地區(qū)
全國

半導體器件生產中硅片須經嚴格清洗。微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質,包括有機物和無機物。這些雜質有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。

無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴重影響少數載流子壽命和表面電導;堿金屬如鈉等,引起嚴重漏電;顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等,會導致各種缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化學清洗兩種。物理清洗有三種方法。刷洗或擦洗:可除去顆粒污染和大多數粘在片子上的薄膜。高壓清洗:是用液體噴射片子表面,噴嘴的壓力高達幾百個大氣壓。高壓清洗靠噴射作用,片子不易產生劃痕和損傷。但高壓噴射會產生靜電作用,靠調節(jié)噴嘴到片子的距離、角度或加入防靜電劑加以避免。超聲波清洗:超聲波聲能傳入溶液,靠氣蝕作用洗掉片子上的污染。但是,從有圖形的片子上除去小于 1微米顆粒則比較困難。將頻率提高到頻頻段,清洗效果更好。
化學清洗,化學清洗是為了除去原子、離子不可見的污染,方法較多,有溶劑萃取、酸洗(硫酸、硝酸、王水、各種混合酸等)和等離子體法等。其中雙氧水體系清洗方法效果好,環(huán)境污染小。一般方法是將硅片先用成分比為H2SO4:H2O2=5:1或4:1的酸性液清洗。清洗液的強氧化性,將有機物分解而除去;用超純水沖洗后,再用成分比為H2O:H2O2:NH4OH=5:2:1或5:1:1或7:2:1的堿性清洗液清洗,由于H2O2的氧化作用和NH4OH的絡合作用,許多金屬離子形成穩(wěn)定的可溶性絡合物而溶于水;然后使用成分比為H2O:H2O2:HCL=7:2:1或5:2:1的酸性清洗液,由于H2O2的氧化作用和鹽酸的溶解,以及氯離子的絡合性,許多金屬生成溶于水的絡離子,從而達到清洗的目的。
放射示蹤原子分析和質譜分析表明,采用雙氧水體系清洗硅片效果好,同時所用的全部化學試劑 H2O2、NH4OH、HCl能夠完全揮發(fā)掉。用H2SO4和H2O2清洗硅片時,在硅片表面會留下約2×1010原子每平方厘米的硫原子,用后一種酸性清洗液時可以完全被清除。用H2O2體系清洗硅片無殘留物,有害性小,也有利于工人健康和環(huán)境保護。硅片清洗中用各步清洗液處理后,都要用超純水沖洗。科學技術的發(fā)展不斷推動著半導體的發(fā)展。
硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有著驚人的運算能力。無論多么復雜的數學問題、物理問題和工程問題,也無論計算的工作量有多大,工作人員只要通過計算機鍵盤把問題告訴它,并下達解題的思路和指令,計算機就能在極短的時間內把答案告訴你。這樣,那些人工計算需要花費數年、數十年時間的問題,計算機可能只需要幾分鐘就可以解決。甚至有些人力無法計算出結果的問題,計算機也能很快告訴你答案。
芯片又是現代化的微型“知識庫”,它具有神話般的存儲能力,在針尖大小的硅片上可以裝入一部24卷本的《大英百科全書》。如今世界上的圖書、雜志已多達3000多萬種,而且每年都要增加50多萬種,可謂浩如煙海。德國未來學家拜因豪爾指出:“今天的科學家,即使整日整夜地工作,也只能閱讀本全部出版物的5%?!背雎泛卧谀兀康霓k法就是由各個圖書情報資料中心負責把各種情報存入硅片存儲器,并用通信線路將其連接成網。

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