石墨舟烘箱與普通烘箱本質(zhì)的區(qū)別是防腐性能的不同。石墨舟酸洗浸泡6-8小時(shí)，之后進(jìn)行清水洗，然后用N2或CAD將石墨舟表面水分吹掃，再用石墨舟烘箱進(jìn)行烘干。所以可想而知石墨舟烘箱的耐腐蝕性能一定要強(qiáng)，否則很容易導(dǎo)至酸性液體滲透至箱體內(nèi)部，造成可挽回的損失。石墨舟烘箱在內(nèi)部材料選擇上也要特殊要求，選擇耐腐蝕性能好的不銹鋼板材，制作工藝上要求技術(shù)成熟，焊縫焊點(diǎn)做好拋光打磨處理。耐普通烘箱一般只要求溫度均勻，結(jié)構(gòu)優(yōu)良，智能操作，便于維修即可，對(duì)防腐性能的要求不是很高，所以普能烘箱在生產(chǎn)成本上要比石墨舟烘箱低很多。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱是一種廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中的設(shè)備，主要原理是利用強(qiáng)制循環(huán)的熱風(fēng)將物料表面和內(nèi)部的水分蒸發(fā)，從而達(dá)到烘干的目的。該設(shè)備通常由箱體、加熱系統(tǒng)、通風(fēng)系統(tǒng)、傳動(dòng)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成。加熱系統(tǒng)可以采用電加熱、液體燃料或者天然氣等不同的熱源，通風(fēng)系統(tǒng)則通過過濾器使空氣與物料接觸更加均勻。在工作時(shí)，物料被放置于烘箱中，通風(fēng)系統(tǒng)通過過濾器吸入空氣，經(jīng)過加熱后形成熱風(fēng)并強(qiáng)制循環(huán)，這樣熱風(fēng)就能夠充分地接觸物料表面和內(nèi)部的濕氣，使?jié)駳庹舭l(fā)出去。在循環(huán)的過程中，熱風(fēng)也會(huì)帶走一些揮發(fā)性物質(zhì)，使物料表面更為干燥。

石墨舟的維護(hù)主要包括以下幾個(gè)方面：

清潔和烘干：石墨舟在使用過程中會(huì)積累污垢和殘留物，因此需要定期清潔和烘干。清潔石墨舟時(shí)，可以使用無腐蝕性的清潔劑，并使用軟毛刷或無絨布進(jìn)行擦拭。烘干石墨舟時(shí)，應(yīng)將其放置在100-120攝氏度的烘箱中烘干10-12小時(shí)。
檢查和維修：石墨舟在使用過程中可能會(huì)發(fā)生損壞，因此需要定期檢查。檢查時(shí)，應(yīng)檢查石墨舟的表面是否有裂紋、磨損或其他損壞。如果發(fā)現(xiàn)損壞，應(yīng)及時(shí)維修或更換。
存儲(chǔ)：石墨舟在使用完畢后，應(yīng)存放在干燥、清潔的環(huán)境中。存儲(chǔ)時(shí)，應(yīng)將石墨舟放置在水平表面上，并用防塵罩進(jìn)行保護(hù)。

石墨舟是用于半導(dǎo)體制造的一種重要的工具。它由石墨材料制成，用于在各種工藝中承載和傳輸硅片。石墨舟的維護(hù)對(duì)于確保其正常運(yùn)行和延長使用壽命至關(guān)重要。

電熱真空干燥箱由于外殼由鋼板沖壓折制、焊接成型，而且外殼表面采用高強(qiáng)度的靜電噴塑涂裝處理，漆膜光滑牢固。工作室采用碳鋼板或不銹鋼板折制焊接而成所以干燥箱十分堅(jiān)固。而且新研制出來的防爆干燥箱進(jìn)一步延伸了這些特點(diǎn)。一般的干燥箱都具有自行化操作，人性化結(jié)構(gòu)，信息化處理等特點(diǎn)，節(jié)能。

真空干燥箱的優(yōu)點(diǎn)包括：干燥速度快、；可降低樣品在高溫下變質(zhì)的可能性；可避免空氣中的氧氣對(duì)樣品產(chǎn)生氧化作用；可減少能源消耗，因?yàn)榭梢栽谳^低的溫度下實(shí)現(xiàn)干燥。然而，真空干燥箱也存在一些不足之處，例如：需要定期維護(hù)和保養(yǎng)；對(duì)樣品形狀和大小有一定限制；不能干燥所有類型的樣品。