充分發(fā)揮 Gemini 2 型光學系統(tǒng)的性能優(yōu)勢
GeminiSEM 460 的 特 殊 之 處 在 于 配 備 的 Gemini 2 型光學系統(tǒng)主要運用了雙聚光鏡, 在獲得理想的小電子束斑同時可連續(xù)調節(jié)束 流。這使高電子束能量密度下的低束流高分 辨率成像和高束流分析得到了。此外, 您也可以在不同的成像模式之間進行無縫切 換或更改成像參數(shù)。此操作簡便快速,因為 在更改成像參數(shù)后無需進行校準,而且經(jīng)調 校的掃描電鏡可以保持穩(wěn)定地工作。
Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過優(yōu)化幾何結 構和靜電場及磁場分布, 獲得出色的信號 探測效率, 從而可以在低電壓下達到亞納 米級分辨率。具體來說, 與標準的 Gemini 物鏡相比,它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場降低了 3 倍, 約 為 1mT ,并能夠進行 1kV 以下亞納米成像, 而無需將樣品浸沒在電磁場中。
分辨率模式
在高分辨率電子槍模式下, 電子束色差降低, 從而實現(xiàn)更小的束斑。
在樣品臺減速技術模式下, 為樣品施加減 速電壓。該減速電壓可進一步提高 1 kV 以 下的圖像分辨率并增強背散射探測器的檢 測效率。
維修、維護及優(yōu)化
確保顯微鏡的正常工作時間。蔡司的維保服務協(xié)議可讓您的運行成本更經(jīng)濟,避免因停機而 造成的損失,并通過提升系統(tǒng)性能達到理想的工作狀態(tài)。維保服務協(xié)議可為您提供一系列的 可選服務種類以及不同級別的服務。在選擇維保服務方案上我們會給予全力支持,以求滿足 您的系統(tǒng)需求與使用要求,同時遵守您單位的規(guī)定。
專為日常檢測和分析應用而設計,蔡司 EVO 擁有的操作 設計理念,無論是經(jīng)驗豐富的顯微技術人員還是不具備掃描 顯微鏡知識的工程師,均可輕松上手。它能夠提供出色 的數(shù)據(jù),特別適合于后續(xù)檢測中無法涂覆導電層的非
導電零部件。
產(chǎn)品應用領域
■ 金屬 / 高分子 / 陶瓷材料
表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨損分析, 斷口分析, 腐蝕研究, 原位分析。
■ 微納加工
結構分析,表面粗糙度分析, 高深寬比結構表征,膜厚測量。
■ 半導體和微電子
表面缺陷定位和分析、發(fā)光缺陷觀察,表面粗糙度分析,膜厚測量等。
■ 醫(yī)療器械檢測
表面粗糙度分析,金相分析,膜厚測量,微生物觀察等。
■ 生物材料和醫(yī)學
金屬表面細胞生長研究, 微生物金屬腐蝕研究, 植入物表面細菌生長表征等。