維修進口設(shè)備電源，主要有高壓電源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流電源（DC Power Supply）、射頻電源(RF Generator)、微波發(fā)生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等設(shè)備維修。

　　1、 AE（ADVANCED ENERGY）射頻電源/直流電源

　　2、 MKS ENI射頻電源/直流電源

　　3、 DAIHEN射頻電源

　　4、 KYOSAN射頻電源/直流電源

　　5、 COMDEL射頻電源

　　6、 ADTEC射頻電源

　　7、 SEREN射頻電源

　　電源維修注意事項：

　　1、開關(guān)電源出現(xiàn)不啟振的時候，我們通常需要查看開關(guān)頻率是否正確、保護電路是否封鎖、電壓反饋電路、電流反饋電路又沒問題，開關(guān)管是否擊穿等。

　　2、開關(guān)電源變壓器發(fā)熱或發(fā)出“嗞嗞嗞”聲，一般是開關(guān)頻率不對。

　　3、開關(guān)電源輸出電壓電源指示燈一閃一閃的一般是副邊有短路的。