掃描電鏡圖像的形成需要各個(gè)系統(tǒng)相互配合，電子光學(xué)系統(tǒng)為掃描電鏡提供的電子束，信號(hào)探測系統(tǒng)將電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號(hào)進(jìn)行采集與處理。電子光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)容請(qǐng)參考往期文章，本篇主要對(duì)掃描電鏡的信號(hào)探測系統(tǒng)進(jìn)行介紹。

激光掃描共聚焦顯微鏡是在傳統(tǒng)熒光顯微鏡成像的基礎(chǔ)上采用激光作為光源，通過使用激光掃描裝置和共軛聚焦裝置，利用計(jì)算機(jī)對(duì)所觀察的對(duì)象進(jìn)行數(shù)字圖像處理的現(xiàn)代化光學(xué)顯微鏡。它能以的分辨率采集細(xì)胞或組織內(nèi)部的熒光標(biāo)記圖像、觀察細(xì)胞或組織內(nèi)部的微細(xì)結(jié)構(gòu)和形態(tài)學(xué)變化、在亞細(xì)胞水平觀察胞內(nèi)重要離子濃度或 pH 的變化、結(jié)合電生理技術(shù)觀察和記錄細(xì)胞的生理活動(dòng)。使用激光掃描共聚焦顯微鏡，還可以對(duì)觀察樣品進(jìn)行斷層掃描和成像、重構(gòu)和分析細(xì)胞的三維空間結(jié)構(gòu)。

蔡司解決方案在增材制造領(lǐng)域的應(yīng)用范圍覆蓋粉末和材料分析，所使用的設(shè)備包括光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡、X射線技術(shù)。
使用光學(xué)顯微鏡來測試金屬粉末的粒徑分布
使用SEM掃描電鏡對(duì)3D打印金屬粉末的球形度和實(shí)心性進(jìn)行分析
使用CT對(duì)粉末顆粒的寬高比和粒徑進(jìn)行分析
對(duì)于內(nèi)部缺陷，蔡司的解決方案也能輕松檢測，比如微裂紋、分層、疲勞裂紋、盈利、孔隙率、粉末殘留物和氣孔等。

電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì)產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線等一系列信號(hào)。所以需要不同的探測器譬如二次電子探測器、X射線能譜分析儀等來區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。雖然X射線信號(hào)不能用于成象，但習(xí)慣上，仍然將X射線分析系統(tǒng)劃分到成象系統(tǒng)中。
有些探測器造價(jià)昂貴，比如Robinsons式背散射電子探測器，這時(shí)，可以使用二次電子探測器代替，但需要設(shè)定一個(gè)偏壓電場以篩除二次電子。

掃描電鏡除能檢測二次電子圖像以外，還能檢測背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發(fā)光等信號(hào)圖像。其成像原理與二次電子像相同。在進(jìn)行掃描電鏡觀察前，要對(duì)樣品作相應(yīng)的處理。
對(duì)樣品的要求
1、不會(huì)被電子束分解
2、在電子束掃描下熱穩(wěn)定性要好
3、能提供導(dǎo)電和導(dǎo)熱通道
4、大小與厚度要適于樣品臺(tái)的安裝
5、觀察面應(yīng)該清潔，物
6、進(jìn)行微區(qū)成分分析的表面應(yīng)平整
7、磁性試樣要預(yù)先去磁，以免觀察時(shí)電子束受到磁場的影響

掃描電鏡及X射線能譜儀或電子探針為準(zhǔn)確鑒定鋼中非金屬夾雜物屬性提供了非?？煽康募夹g(shù)，他可以將D類等非金屬夾雜物的二維和三維形貌、與所含元素的X射線元素面分布圖、與其內(nèi)含有元素或所含簡單氧化物的重量百分?jǐn)?shù)和原子百分?jǐn)?shù)定量分析結(jié)果有機(jī)結(jié)合起來，對(duì)這種D類非金屬夾雜物給出一個(gè)全新的詮釋。由此，作者提出了非金屬夾雜物的相結(jié)構(gòu)概念