制氮機(jī)在電子半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用：
充氮回流焊及波峰焊，用氮?dú)饪捎行б种购稿a的氧化，提高焊接潤(rùn)濕性，加快潤(rùn)濕速度，減少錫球的產(chǎn)生，避免橋接和減少橋接缺陷，得到較好的焊接質(zhì)量。使用氮?dú)饧兌却笥?9.99%。半導(dǎo)體器件制造工藝：晶體生長(zhǎng)、等離子干刻、光刻、退火、搭連、燒結(jié)等，和電子元件生產(chǎn)過程：彩色顯像管、大規(guī)模集成電路、液晶、硅片等，均可使用氮?dú)庾鳛楸Ｗo(hù)氣和載氣。
電子半導(dǎo)體行業(yè)制氮機(jī)的原理：
電子半導(dǎo)體行業(yè)制氮機(jī)是根據(jù)變壓吸附原理，采用的碳分子篩作為吸附劑，工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)制氮機(jī)是指在一定的壓力下，從空氣中制取氮?dú)?。?jīng)過純化干燥的壓縮空氣，在吸附器中進(jìn)行加壓吸附、減壓脫附。由于空氣動(dòng)力學(xué)效應(yīng)，氧在碳分子篩微孔中擴(kuò)散速率遠(yuǎn)大于氮，氧被碳分子篩吸附，氮在氣相中被富集起來，形成成品氮?dú)?。立方制氮機(jī)然后經(jīng)減壓至常壓，吸附劑脫附所吸附的氧氣等雜質(zhì)，實(shí)現(xiàn)再生。立方制氮機(jī)一般在系統(tǒng)中設(shè)置兩個(gè)吸附塔，一塔吸附產(chǎn)氮，另一塔脫附再生，通過程序控制器控制氣動(dòng)閥的啟閉，使兩塔交替循環(huán)，以實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)氮?dú)庵康?。整套系統(tǒng)由以下部件組成：壓縮空氣凈化組件、空氣儲(chǔ)罐、氧氮分離裝置、氮?dú)饩彌_罐。
電子半導(dǎo)體行業(yè)制氮機(jī)的工作流程
有碳分子篩的吸附塔共有A、B兩只立方制氮機(jī)。立方制氮機(jī)當(dāng)潔凈的壓縮空氣進(jìn)入A塔入口端經(jīng)碳分子篩向出口端流動(dòng)時(shí)，立方制氮機(jī)的相關(guān)氣被其吸附，產(chǎn)品氮?dú)庥晌剿隹诙肆鞒?。?jīng)一段時(shí)間后，A塔內(nèi)的碳分子篩吸附飽和。立方制氮機(jī)這時(shí)，A塔自動(dòng)停止吸附，壓縮空氣流入B塔進(jìn)行吸氧產(chǎn)氮，對(duì)并A塔分子篩進(jìn)行再生。立方制氮機(jī)分子篩的再生是通過將吸附塔迅速下降至常壓脫除已吸附的相關(guān)氣體來實(shí)現(xiàn)的。立方制氮機(jī)兩塔交替進(jìn)行吸附和再生，完成氧氮分離，連續(xù)輸出氮?dú)狻Ａ⒎街频獧C(jī)上述過程均由可編程序控制器來控制。立方制氮機(jī)當(dāng)出氣端氮?dú)饧兌却笮≡O(shè)定值時(shí)，通過程序作用，自動(dòng)放空閥門打開，將不合格氮?dú)庾詣?dòng)放空，確保不合格氮?dú)獠涣飨蛴脷恻c(diǎn)。氣體放空時(shí)利用消聲使噪聲小于75貝分。?
空氣壓縮部分：空壓機(jī)、空氣儲(chǔ)罐；空氣凈化部分：除油器、精密過濾器、壓縮空氣干燥機(jī)、空氣緩沖罐、活性炭過濾器；制氮機(jī)主機(jī)部分：吸附塔、控制器、氮?dú)夥蹓m過濾器、氮?dú)鈨?chǔ)罐，以壓縮空氣作為原料和動(dòng)力，通過變壓吸附制取純度為95%～99.9995%的氮?dú)猓坏獨(dú)饧兓糠郑豪锰驾d純化裝置(加氫純化裝置)對(duì)99.9%的普氮進(jìn)行提純，得到高純度氮?dú)?99.999%～99.9995%)。