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本文結(jié)合某單晶爐產(chǎn)品的研制 ,設(shè)計了一種實用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng) ,并在實際生產(chǎn)中獲得成功應(yīng)用。2　設(shè)計的關(guān)鍵圖 1示出了單晶爐提拉的工藝過程。提拉控制系統(tǒng)的驅(qū)動電機轉(zhuǎn)速 n經(jīng)減速器、齒輪齒條減速后帶動提拉桿上下運動。根據(jù)硅單晶生產(chǎn)工藝 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h內(nèi)無級調(diào)節(jié) ,它相對于給定信號的線性精度 ± 2 %。經(jīng)折算后 (見下節(jié)式 ( 3) ) 分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，回收各種二手單晶爐回收.中頻電爐回收，高頻爐回收，氮化爐、滲碳爐、鹽浴爐、真空爐、釬焊爐、高頻電爐、中頻電爐、感應(yīng)爐、井式爐、熔鋁爐、熔銅爐、電弧爐、輻射電爐、網(wǎng)帶爐、臺車爐、保溫爐、罩式爐、退火爐、回火爐、淬火爐、推桿爐、焙燒爐、燒結(jié)爐、窯爐、硝鹽爐、時效爐、管式爐、氨分解爐、坩鍋電爐、熔煉爐、箱式爐、調(diào)質(zhì)電爐、實驗電爐、加熱爐、鍛造爐、連續(xù)爐、熱風(fēng)爐 溴化鋰制冷機， 退火爐 空壓機 電梯、貨梯、自動扶梯、電力變壓器、干試變壓器、化工設(shè)備、齒輪箱、冷庫、制冷設(shè)備、空調(diào)、水冷機組、工業(yè)爐：分為電爐和燃燒爐（狹義的工業(yè)爐指燃燒爐）