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上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)的混合使用，即可滿足轉(zhuǎn)動所需的扭矩，又可實現(xiàn)轉(zhuǎn)速的控制。質(zhì)量流量計控制流量。自主產(chǎn)權(quán)的控制軟件采用視窗平臺，操作方便簡潔直觀。多種曲線和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實時監(jiān)控的平臺。完整的工藝設(shè)定界面使計算機(jī)可以自動完成幾乎所有的工藝過程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場設(shè)計使晶體提拉速度提高20-30%。