不銹鋼減壓閥R410上海浦煦/PUSHER工業(yè)混配器半導(dǎo)體尾氣處理爐
手氣動隔膜閥工業(yè)減壓閥R212截止閥配比混配器特氣柜尾氣處理爐

硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更的硅氫化合物。目前應(yīng)用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現(xiàn)精細(xì)控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它***的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。
硅烷的著火和爆炸都是與氧氣反應(yīng)的結(jié)果。硅烷對氧和空氣極為敏感。具有一定濃度的硅烷在- 180℃的溫度下也會與氧發(fā)生爆炸反應(yīng)。固體硅烷與液氧反應(yīng)非常危險。硅烷燃燒時火焰呈深黃色, 在氧氣充足的條件下發(fā)生反應(yīng):

SiH4+ 2O2=SiO2+ 2H2O ΔH= - 362 kcal/ mol

若氧氣不足, 則有不完全氧化反應(yīng)發(fā)生:

SiH4+ O2=SiO2+ 2H2 Δ H= - 226 kcal/ mol

燃燒產(chǎn)生的高溫還使部分未反應(yīng)的硅烷發(fā)生熱分解反應(yīng):

SiH4 =Si+ 2H2 ΔH= - 8. 2 kcal/ mol
LD50:- LC50:9600ppm/4小時
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手氣動隔膜閥工業(yè)減壓閥R212截止閥配比混配器特氣柜尾氣處理爐毒性效應(yīng):

其他注意事項:***，當(dāng)老鼠暴露在10000ppm下1小時或 ≥2500ppm下4小時會 對腎產(chǎn)生影響。老鼠暴露在1000ppm，6小時/天，5天/周下2到4周后只有輕微的呼吸道刺激。硅烷會引起細(xì)菌的變異。

致癌性:至今未被發(fā)現(xiàn)致癌。
可能之環(huán)境影響/環(huán)境流布:

水中毒性:-

流動性:由于在空氣中自燃，它會在進(jìn)入土壤之前燃燒掉。

持續(xù)性及生物降解:由于在空氣中燃燒并分解，硅烷不會在環(huán)境中長期存在。

潛在的生物富集:硅烷不會在生物中積累。

注:硅烷不含有任何1類或2類的分解臭氧的化學(xué)物質(zhì)。
避免強氧化劑,強堿，鹵素。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下氣體密度為1.44g/L，液體的相對密度為0.68(-185℃)。蒸氣壓11mmHg(1mmHg=133.322Pa)(-160℃)、102mmHg(-140℃)、470mmHg(-120℃)。紅外光譜波長2191cm-1、914cm-1。在室溫時為氣體狀態(tài)，在儲存過程中，數(shù)月之內(nèi)無***分解。因為甲硅烷幾乎不溶于潤滑脂，可以儲存在瓶塞涂有潤滑脂的容器內(nèi)。

硅烷的化學(xué)性質(zhì)比烷烴活潑得多，極易被氧化。在與空氣接觸時可發(fā)生自燃。25℃以下與氮不起作用，室溫下與烴類化合物不起反應(yīng)。與氧反應(yīng)異常激烈，即使在-180℃溫度下也會猛烈反應(yīng)。

硅烷與氟氯烴類滅火劑會發(fā)生激烈反應(yīng)，所以不能用這類滅火劑滅火。爆炸極限為0.8%~98%。
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危害:

眼接觸:硅烷會刺激眼睛。硅烷分解產(chǎn)生無定型二氧化硅。眼睛接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。

吸入:1.吸入高濃度的硅烷會引起***、惡心、頭暈并刺激上呼吸道。

2.硅烷會刺激呼吸系統(tǒng)及粘膜。過度吸入硅烷會引起肺炎和腎病，這是由于存在結(jié)晶二氧化硅的原因。

3.暴露于高濃度氣體中還會由于自燃而造成熱灼傷。

攝入:攝入不可能成為接觸硅烷的途徑。

皮膚接觸:硅烷會刺激皮膚。硅烷分解產(chǎn)生無定型二氧化硅 。皮膚接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。

慢性癥狀:如今不清楚長期暴露于硅烷中對健康的進(jìn)一步影響。

損害器官:未建立

過度暴露造成的病情惡化 :有皮膚和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物中會加重病情。

致癌性:未被 NTP、OSHA及IARC列為致癌物。

急救措施

不同暴露途徑之急救方法:

熱灼傷:由于硅烷泄漏引起人員灼傷時應(yīng)由受過培訓(xùn)的人員進(jìn)行急救，并立即尋求醫(yī)療處理。

眼睛接觸:立即用水沖洗少15分鐘，水流不要太快，同時翻開眼瞼。使受難者為"O"形眼，立即尋求眼科處理。

吸入:將患者盡快移到空氣清新處。如有必要由受過培訓(xùn)的人員進(jìn)行輸氧或人工呼吸。

皮膚接觸:1.用大量的水沖洗少15分鐘。脫掉已暴露在硅烷中或被污染的衣服，小心不要接觸到眼睛。

2.如果患者有持續(xù)的刺激感或其他進(jìn)一步的健康影響需立即進(jìn)行醫(yī)療處理。

醫(yī)生須知:如有必要需吸氧。觀察患者是否有肺炎初期癥狀。
適用滅火劑:切斷氣源滅火。用水霧減少空氣中形成的燃燒產(chǎn)物。不要用鹵化物類滅火器。從遠(yuǎn)的距離用水冷卻暴露在火焰中的鋼瓶。
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滅火時可能遭遇之特殊危害:

1.可自燃?xì)怏w。本產(chǎn)品是一種無色、易與空氣反應(yīng)的氣體。該氣體通常與空氣接觸會引起燃燒并放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧。

2.如果泄放硅烷時壓力過高或速度過快會引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會非常危險，不要靠近。

3.大多數(shù)鋼瓶設(shè)計了溫度升高時的泄放裝置。由于熱量的作用氣瓶內(nèi)壓力會升高，如果泄壓裝置失靈會引起鋼瓶爆炸。

特殊滅火程序:

1.從泄漏區(qū)疏散所有人。如有可能，在沒有危險的情況下切斷氣源之后根據(jù)燃燒的物質(zhì)滅火 。

2.用水霧減少空氣中形成的燃燒產(chǎn)物。水可能對撲滅硅烷的火災(zāi)不起作用。

3.不要用鹵化物類滅火劑。如有可能，阻止泄漏。

4.不要試圖在切斷氣源之前滅火。這樣可以避免可燃性氣體混合物的累積和重燃。

5.對于小型的泄漏，如果不能阻止泄漏而且泄漏也不會傷害人員，讓火焰自然熄滅。用大量的水為周圍的鋼瓶噴淋降溫，直到火焰熄滅。

6.在大的火災(zāi)中，應(yīng)該用自動管支架和控制噴嘴從遠(yuǎn)距離滅火 。

7.處理火災(zāi)初起時，要對眼睛進(jìn)行保護(hù)。如果是大火，需要自給式呼吸器和全身防護(hù)服，包括防火服。如有必要，用肥皂水刷洗滅火設(shè)備。

有害燃燒產(chǎn)物:包括二氧化硅在內(nèi)的燃燒產(chǎn)物。
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清理方法:

1.撤離立即受影響區(qū)域。

2.硅烷是一種可自燃?xì)怏w。該氣體通常與空氣接觸會引起燃燒并放出很濃的黃色的無定型二氧化硅煙霧。

3.不受控制的泄漏需要由經(jīng)過培訓(xùn)的人員按照事先擬好的計劃進(jìn)行處理。硅烷的泄漏一般都會引起火災(zāi)。

4.如果硅烷泄放時壓力過高或速度過快會引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會非常危險，不要靠近。

5.如有可能切斷泄漏的氣源，隔離泄漏的鋼瓶。如果不能阻止泄漏(或不能接近閥門)，讓鋼瓶在原地泄放或?qū)撈恳频揭粋€安全的地方泄放。

6.若從容器內(nèi)及泄壓閥或其他閥門泄漏，請與供商聯(lián)系。

7.若泄漏來自用戶系統(tǒng)，關(guān)掉鋼瓶閥門，在修復(fù)定要泄壓并用惰性氣體吹掃。

8.所有人員都要有防護(hù)，泄漏區(qū)要受到控制。

9.所有應(yīng)急反應(yīng)人員都要有適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)，以避免暴露于硅烷中。監(jiān)測周圍環(huán)境中的硅烷含量。只有硅烷含量在允許范圍內(nèi)時(見***部分)，人員才能在沒有自給式呼吸器的情況下進(jìn)入。進(jìn)入前，可燃性氣體的濃度一定要低于0.14%，也就是硅烷LEL的10%。進(jìn)入前要爭取關(guān)閉氣體的總閥門。
儲存:

1.在通風(fēng)良好、安全且不受天氣影響的地方存儲。鋼瓶應(yīng)直立擺放。且保持保護(hù)性閥蓋和輸出閥的密封完好。

2.存儲區(qū)域應(yīng)遠(yuǎn)離頻繁出入處和緊急出口。儲存區(qū)域內(nèi)不應(yīng)有火源，儲存區(qū)內(nèi)所有電器有防爆設(shè)施。易燃物存放區(qū)應(yīng)與氧及氧化物存放區(qū)少相距20ft 。

3.或者在中間放置至少5英尺高的非易燃材料作為屏障，以能耐火半小時。儲存區(qū)和使用區(qū)內(nèi)應(yīng)有"禁止吸煙和使用明火"的告示牌。4.存儲溫度不可125℉(52℃)。將空瓶與滿瓶分開存放。避免過量存儲和存儲時間過長。

5.使用先出系統(tǒng)。應(yīng)考慮在儲存區(qū)內(nèi)安裝測漏器和報警設(shè)備。
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使用:

1.使用防火花工具。不要試圖對裝有硅烷的鋼瓶進(jìn)行修理、調(diào)節(jié)或其他改動。

2.如果出現(xiàn)故障或其他操作問題，請立即與近的分銷商聯(lián)系。

3.如有可能應(yīng)避一個人操作鋼瓶。所有的操作都應(yīng)這樣進(jìn)行--一旦發(fā)生泄漏，處理緊急情況的人員可以立即趕到。

4.用氫離子檢測器監(jiān)測硅烷的修理和在空氣中的擴散，用紅外/紫外監(jiān)測器監(jiān)測火災(zāi) 。所以的監(jiān)測器都應(yīng)有內(nèi)鎖，一旦發(fā)現(xiàn)問題立即自動切斷硅烷氣源。

5.監(jiān)測系統(tǒng)應(yīng)裝備備用或應(yīng)急電源。有遙控緊急開關(guān)，必要時可關(guān)閉硅烷氣源。

6.硅烷系統(tǒng)中不允許使用填壓閥，只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統(tǒng)中應(yīng)安裝過流閥或過流開關(guān)。這樣可以在下游管線發(fā)生爆炸時切斷氣源。這個開關(guān)閥應(yīng)安裝得離氣源越近越好。

7.一定不要拉、滾動或滑動容器。用合適的手推車來移動容器，不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。氣瓶在使用的全過程中為固定狀態(tài)。

8.用一個減壓器或立的控制閥安全地從氣瓶內(nèi)釋放氣體。用單向閥來防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。

9.一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過的系統(tǒng)連接好，應(yīng)緩慢仔細(xì)地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難，需停止使用，并與供應(yīng)商聯(lián)系。

10.不可將工具(如:扳手，螺絲刀，等) 插入閥蓋內(nèi)。 否則會損壞閥門并引起泄漏。

11.使用可調(diào)節(jié)的帶扳手來打開過緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關(guān)設(shè)備接地。電器設(shè)備防火花和防爆。
特殊注意事項:

1.系統(tǒng)溫度不可低于-170℉ (-112℃)，否則可能會吸入空氣形成爆炸性混合物。

2.不要讓硅烷與重金屬鹵化物或鹵素接觸，硅烷與它們劇烈反應(yīng)。應(yīng)仔細(xì)吹掃系統(tǒng)，以防殘留有脫脂劑，其中所含的鹵素或其他含氯的碳?xì)浠衔铩?br />
3.用二至三倍的工作壓力對系統(tǒng)進(jìn)行全面加壓檢漏，好使用氦氣。此外，還應(yīng)建立和執(zhí)行常規(guī)的檢漏制度。

4.系統(tǒng)檢漏或因其他原因打開之后，應(yīng)使用抽真空或惰性氣體吹掃的方法將系統(tǒng)中的空氣吹掃干凈。在打開任何裝有硅烷的系統(tǒng)之前用惰性氣體全面吹掃系統(tǒng)。如果系統(tǒng)中的任何部分有死角或可能殘留硅烷的地方，抽真空循環(huán)吹掃。

5.應(yīng)將硅烷排放到一個處理它的地方，好是將它燃燒掉。即使硅烷濃度較低也十分危險，不能暴露在空氣中。硅烷在被惰性氣體稀釋成不可燃的氣體后也可以排空。

6.應(yīng)按照美國壓縮氣體協(xié)會的要求儲存和使用壓縮氣體。當(dāng)?shù)乜赡軐Υ婧褪褂脷怏w要求有特殊的設(shè)備規(guī)定。
工程控制:在使用和儲藏該產(chǎn)品的區(qū)域或其鄰近區(qū)域應(yīng)安裝硅烷探測器。提供充足的自然或防爆通風(fēng)以防止氣體濃度的增加，確保硅烷沒有達(dá)到1.4%燃燒下限。如適用，安裝自動監(jiān)視設(shè)備來探測爆炸性混合空氣和氧含量。
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控制參數(shù):

八小時日時量平均容許濃度(TLV):5ppm

短時間時量平均容許濃度(STEL):-

高容許濃度:-

生物指針:-

個人防護(hù)設(shè)備:

呼吸防護(hù):

1.能引起快速窒息的高濃度也在其燃燒極限范圍內(nèi)，不能進(jìn)入。

2.緊急情況時需使用逃生用自給式呼吸器。

眼睛防護(hù):

1.佩戴防濺眼鏡或有側(cè)防護(hù)的安全眼鏡和面罩。

2.確保使用該產(chǎn)品的附近區(qū)域有安全淋浴及洗眼器。

皮膚及身體防護(hù):當(dāng)操作鋼瓶時使用工作手套，在緊急情況時使用防火手套和防火衣。處理泄漏時戴兩副手套。

其其它防護(hù)設(shè)備:工作時使用恰當(dāng)?shù)纳眢w防護(hù)用品，推薦使用防靜電衣，操作鋼瓶時建議穿安全鞋。
未使用過的產(chǎn)品/空的鋼瓶:將容器及未用的產(chǎn)品返回給供應(yīng)商。不要將剩余或未用的 產(chǎn)品擅自處理掉。

處理方法:系統(tǒng)中剩余的硅烷應(yīng)在適當(dāng)?shù)娜紵髦袩?。該過程應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)氐姆ㄒ?guī)進(jìn)行。含有該物質(zhì)的廢物被EPA列位有害廢物。按照當(dāng)?shù)氐姆ㄒ?guī), 用戶要注明廢料的流向。
包裝方法:鋼質(zhì)氣瓶;安瓿瓶外普通木箱。


運輸注意事項:采用剛瓶運輸時戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放，并應(yīng)將瓶口朝同一方向，不可交叉;高度不得超過車輛的防護(hù)欄板，并用三角木墊卡牢，防止?jié)L動。運輸時運輸車輛應(yīng)配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材。裝運該物品的車輛排氣管配備阻火裝置，禁止使用易產(chǎn)生火花的機械設(shè)備和工具裝卸。嚴(yán)禁與氧化劑、堿類、鹵素、食用化學(xué)品等混裝混運。夏季應(yīng)早晚運輸，防止日光曝曬。中途停留時應(yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源。公路運輸時要按規(guī)定路線行駛。鐵路運輸時要禁止溜放。

半導(dǎo)體全自動特氣柜氣體配比混配器調(diào)壓減壓閥隔膜閥匯流排
不銹鋼減壓閥R410上海浦煦/PUSHER工業(yè)混配器半導(dǎo)體尾氣處理爐
上海浦煦流體控制系統(tǒng)有限公司致力于推動氣體的利用、不斷為客戶創(chuàng)造價值的使命，專注于制 造的高純及純氣體減壓器、氣體閥門，產(chǎn)品包括氣體混配器、全自動氣瓶柜、調(diào)壓閥、隔膜 閥、單向閥、過濾器等，同時為客戶提供流體系統(tǒng)的工程設(shè)計及施工。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于裝備制造、半導(dǎo) 體、光伏、***等行業(yè)。
手氣動隔膜閥調(diào)壓減壓器R412截止閥配比混配器特氣柜尾氣處理爐

公司占地5000余平方米，2000平方米生產(chǎn)廠房，100平方CLASS 1000 無塵室。公司配備理化室。具 有高低溫、震動、硬度、金相、光譜、非接觸式表面光潔度、壓力、流量整套檢測能力。公司現(xiàn)有30余臺 套精密機械加工設(shè)備，包括加工中心、數(shù)控車床、數(shù)控銑床等。
公司擁有一批富有20余年從業(yè)經(jīng)驗的技術(shù)團(tuán)隊。完整的產(chǎn)品線貼近市場需求，同時通過與美國、 法國等同行業(yè)技術(shù)合作，為國外***品牌進(jìn)行定牌生產(chǎn)，技術(shù)能力得以不斷提升。
公司通過了*** 國際質(zhì)量體系認(rèn)證，獲得壓力管道設(shè)計、特種設(shè)備制造(閥門及元件組合裝 置)、特種設(shè)備安裝(壓力管道、壓力容器)許可證。

上海浦煦流體控制系統(tǒng)有限公司愿為您的流體供應(yīng)系統(tǒng)安全、潔凈、的運作，提供整體產(chǎn)品解決 方 案 。

不銹鋼減壓閥R410上海浦煦/PUSHER工業(yè)混配器半導(dǎo)體尾氣處理爐

半導(dǎo)體全自動特氣柜氣體配比混配器調(diào)壓減壓閥隔膜閥匯流排
GC5000系列UHP供氣用氣瓶柜采用冷軋?zhí)间摪搴附佣?SUS304不銹鋼板可選),有效隔離氣瓶與工作 環(huán)境，分單瓶、二瓶、三瓶及四瓶四種規(guī)格，氣瓶柜頂部設(shè)有抽風(fēng)口，

對于有毒有害氣體在供氣時建議***一定排風(fēng)量，以確保安全使用。氣瓶柜正面門板下部設(shè)置有通風(fēng)百葉， 有利于加強氣柜通風(fēng)效果。

GC5000 系列氣瓶柜設(shè)置有8mm 不銹鋼絲加強鋼化玻璃透明視窗，方便用氣過程中監(jiān)控。

GC5000 系列氣瓶柜用于可燃性氣體時，氣瓶柜頂部標(biāo)準(zhǔn)配置有水噴淋系統(tǒng)，需要時可與煙感或泄漏報警器

聯(lián)動。

半導(dǎo)體全自動特氣柜氣體配比混配器調(diào)壓減壓閥隔膜閥匯流排

直燃+水洗式尾氣處理爐AR-FUEL WET TYPE GAS ABATEMENT SCRUBBER

SB770W 為燃?xì)馀c空氣預(yù)混動力燃燒式尾氣處理爐，燃燒腔水冷，經(jīng)燃燒處理 后的尾氣經(jīng)過進(jìn)一步水洗、過濾后高空放散或排入中央洗滌塔。

應(yīng) 用

■應(yīng)用于ETCH,CVD,DIFF 等半導(dǎo)體行業(yè)工藝過程中產(chǎn)生 的廢氣處理，氣體種類包括：

腐蝕性氣體(Cl2,F2,HCl,HF,BCl3,HBr 等 )

可燃性氣體(SiH4,TEOS,DCS 等 )



半導(dǎo)體全自動特氣柜氣體配比混配器調(diào)壓減壓閥隔膜閥匯流排

產(chǎn)品特點

結(jié)構(gòu)簡單，可靠，處理效***

尾氣燃燒、水洗，尤其適用于酸堿性尾氣處理

低氮燃燒器，處理能力大(1000SLPM, 含吹掃置換氮氣),處理效***； PLC 全自動控制，模塊化結(jié)構(gòu)，交貨快

待機、沉積、清潔三個過程快速響應(yīng)，三種運行模式，能源消耗少 標(biāo)配粉塵刮刀

多級多重安全連鎖，防回火設(shè)施設(shè)計，氮氣稀釋保護(hù)，確保長時間無故障安全運行
上海浦煦流體控制系統(tǒng)有限公司致力于推動氣體的利用、不斷為客戶創(chuàng)造價值的使命，專注于制 造的高純及純氣體減壓器、氣體閥門，產(chǎn)品包括氣體混配器、全自動氣瓶柜、調(diào)壓閥、隔膜 閥、單向閥、過濾器等，同時為客戶提供流體系統(tǒng)的工程設(shè)計及施工。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于裝備制造、半導(dǎo) 體、光伏、***等行業(yè)。

手氣動隔膜閥調(diào)壓減壓器截止閥M273配比混配器半導(dǎo)體特氣柜尾氣處理爐止回閥

公司占地5000余平方米，2000平方米生產(chǎn)廠房，100平方CLASS 1000 無塵室。公司配備理化室。具 有高低溫、震動、硬度、金相、光譜、非接觸式表面光潔度、壓力、流量整套檢測能力。公司現(xiàn)有30余臺 套精密機械加工設(shè)備，包括加工中心、數(shù)控車床、數(shù)控銑床等。

公司擁有一批富有20余年從業(yè)經(jīng)驗的技術(shù)團(tuán)隊。完整的產(chǎn)品線貼近市場需求，同時通過與美國、 法國等同行業(yè)技術(shù)合作，為國外***品牌進(jìn)行定牌生產(chǎn)，技術(shù)能力得以不斷提升。

手氣動隔膜閥調(diào)壓減壓器截止閥M273配比混配器半導(dǎo)體特氣柜尾氣處理爐止回閥

公司通過了*** 國際質(zhì)量體系認(rèn)證，獲得壓力管道設(shè)計、特種設(shè)備制造(閥門及元件組合裝 置)、特種設(shè)備安裝(壓力管道、壓力容器)許可證。

上海浦煦流體控制系統(tǒng)有限公司愿為您的流體供應(yīng)系統(tǒng)安全、潔凈、的運作，提供整體產(chǎn)品解決 方 案 。

手氣動隔膜閥調(diào)壓減壓器截止閥M273配比混配器特氣柜尾氣處理爐止回閥
M



GC5000系列UHP供氣用氣瓶柜采用冷軋?zhí)间摪搴附佣?SUS304不銹鋼板可選),有效隔離氣瓶與工作 環(huán)境，分單瓶、二瓶、三瓶及四瓶四種規(guī)格，氣瓶柜頂部設(shè)有抽風(fēng)口，

對于有毒有害氣體在供氣時建議***一定排風(fēng)量，以確保安全使用。氣瓶柜正面門板下部設(shè)置有通風(fēng)百葉， 有利于加強氣柜通風(fēng)效果。

GC5000 系列氣瓶柜設(shè)置有8mm 不銹鋼絲加強鋼化玻璃透明視窗，方便用氣過程中監(jiān)控。

GC5000 系列氣瓶柜用于可燃性氣體時，氣瓶柜頂部標(biāo)準(zhǔn)配置有水噴淋系統(tǒng)，需要時可與煙感或泄漏報警器

聯(lián)動。

手氣動隔膜閥調(diào)壓減壓器截止閥M273配比混配器特氣柜尾氣處理爐止回閥



直燃+水洗式尾氣處理爐AR-FUEL WET TYPE GAS ABATEMENT SCRUBBER

SB770W 為燃?xì)馀c空氣預(yù)混動力燃燒式尾氣處理爐，燃燒腔水冷，經(jīng)燃燒處理 后的尾氣經(jīng)過進(jìn)一步水洗、過濾后高空放散或排入中央洗滌塔。

應(yīng) 用

■應(yīng)用于ETCH,CVD,DIFF 等半導(dǎo)體行業(yè)工藝過程中產(chǎn)生 的廢氣處理，氣體種類包括：

腐蝕性氣體(Cl2,F2,HCl,HF,BCl3,HBr 等 )

可燃性氣體(SiH4,TEOS,DCS 等 )





手氣動隔膜閥調(diào)壓減壓器截止閥配比混配器特氣柜尾氣處理爐止回閥

產(chǎn)品特點

結(jié)構(gòu)簡單，可靠，處理效***

尾氣燃燒、水洗，尤其適用于酸堿性尾氣處理

低氮燃燒器，處理能力大(1000SLPM, 含吹掃置換氮氣),處理效***； PLC 全自動控制，模塊化結(jié)構(gòu)，交貨快

待機、沉積、清潔三個過程快速響應(yīng)，三種運行模式，能源消耗少 標(biāo)配粉塵刮刀

多級多重安全連鎖，防回火設(shè)施設(shè)計，氮氣稀釋保護(hù)，確保長時間無故障安全運行；