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DL-78型單晶爐的熱場和減壓工藝\1前言集成電路生產的發(fā)展一方面不斷縮小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不斷擴大硅片直徑以減少芯片的離故度和降低成本。相應地，作為集成電路基礎材料的硅單晶生產也在不斷地提高其技術質量指標和增大單晶錠的直徑和長度，以滿足電路的要求和降低自身的生產成本。在國外市場上，硅晶體直徑大致每4～5年增長1時（25．4mm），相應地，生產投料重也由1公斤逐漸發(fā)展為3～5公斤、8～12公斤、15～劉公斤和朋～6O公廳等幾個等級。在這發(fā)展中，有兩個條件是相輔相成、共同進步的，這是單晶爐和拉晶工藝。

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爐子本體包括機架、坩堝驅動裝置、主爐室、翻板閥、副爐室、籽晶提升機構、液壓驅動裝置、真空系統(tǒng)、沖系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)。機架由底座、上立柱和下立柱組成，是爐子的支撐裝置。江浙滬皖贛冶煉行業(yè)成套設備回收單位，整改停用冶煉機械產品拆除回收，本長期收購中頻爐，單晶爐，電解爐，高風爐，熱風爐，單晶硅生長爐，整改回收，整流柜收購，電抗器拆除回收，水冷電纜拆除收購，動力電纜拆除收購業(yè)務，我長年收購單晶爐設備歡迎來電詳詢。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，因此,避免提拉系統(tǒng)的晃動是單晶爐結構設計的關鍵點之一。在生產實際中發(fā)現(xiàn),某型號單晶爐的提拉系統(tǒng)在工作轉速接近13~14r/min范圍時,提拉系統(tǒng)的軟軸會出現(xiàn)明顯的晃動,這個問題一直制約著晶體生長的質量和生產效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對單晶爐的提拉系統(tǒng)進行分析,找出引起提拉系統(tǒng)軟軸晃動