真空鍍膜機(jī)通常由真空腔體、加熱系統(tǒng)、蒸發(fā)源、濺射源、離子源、氣體控制系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等組成。在真空腔體中,通過抽氣系統(tǒng)將氣體抽走,形成高真空環(huán)境。加熱系統(tǒng)用于提供蒸發(fā)源或?yàn)R射源所需的熱能,使材料蒸發(fā)或?yàn)R射到
蒸發(fā)源是將材料加熱至其熔點(diǎn)或沸點(diǎn),使其蒸發(fā)到基材上形成薄膜的裝置。濺射源則是通過在材料表面轟擊高能粒子,使其濺射出來,并沉積在基材上。離子源則通過離子轟擊基材表面,使其表面活化并提高薄膜質(zhì)量。
臥式電阻回收蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)設(shè)備的工作原理是,將待鍍物放置在真空腔體中,通過抽氣系統(tǒng)將腔體內(nèi)的空氣抽出,使腔體內(nèi)形成高真空環(huán)境。然后,通過電阻加熱系統(tǒng)加熱蒸發(fā)源,使其達(dá)到蒸發(fā)溫度。蒸發(fā)源上的材料開始蒸發(fā),形成蒸汽。蒸汽在真空環(huán)境中擴(kuò)散,沉積在待鍍物表面形成薄膜。薄膜的成分和性質(zhì)與蒸發(fā)源的材料有關(guān)。
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