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進(jìn)一步提供了一種加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的具體結(jié)構(gòu)，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)絲桿、旋轉(zhuǎn)套和固定座，所述旋轉(zhuǎn)套鉸接在拖板上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿可旋轉(zhuǎn)地支承在固定座上，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)安裝在固定座上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿的一端部和旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸相連接，所述旋轉(zhuǎn)絲桿的另一端部和旋轉(zhuǎn)套通過螺紋連接，所述加料器旋臂鉸接在拖板上，以便通過旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)絲桿在旋轉(zhuǎn)套內(nèi)旋進(jìn)旋出，使得固定座產(chǎn)生位移，并使固定座帶動(dòng)加料器旋臂旋轉(zhuǎn)。進(jìn)一步為了方便副爐室移動(dòng)到取晶位，并方便副爐室的拆解、清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，所述所述副爐室通過副爐室旋臂連接在副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置上，以便通過副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)副爐室旋臂升降，并通過副爐室旋臂帶動(dòng)副爐室升降，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置連接在副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置和副爐室旋臂之間，以便使得副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置隨副爐室旋臂一起升降，并通過副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)副爐室旋臂旋轉(zhuǎn)，副爐室旋臂又帶動(dòng)副爐室旋轉(zhuǎn)。

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因此,避免提拉系統(tǒng)的晃動(dòng)是單晶爐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵點(diǎn)之一。在生產(chǎn)實(shí)際中發(fā)現(xiàn),某型號(hào)單晶爐的提拉系統(tǒng)在工作轉(zhuǎn)速接近13~14r/min范圍時(shí),提拉系統(tǒng)的軟軸會(huì)出現(xiàn)明顯的晃動(dòng),這個(gè)問題一直制約著晶體生長的質(zhì)量和生產(chǎn)效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對(duì)單晶爐的提拉系統(tǒng)進(jìn)行分析,找出引起提拉系統(tǒng)軟軸晃動(dòng)分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，直拉硅單晶熱場(chǎng)加熱器設(shè)計(jì)分析\1熱場(chǎng)及加熱器簡(jiǎn)介直拉硅單晶爐的熱場(chǎng)是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進(jìn)行單晶生長的整個(gè)溫度場(chǎng)系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導(dǎo)流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導(dǎo)流系統(tǒng)包括導(dǎo)流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場(chǎng)溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進(jìn)行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。