南通如皋分子泵回收 南通如皋長(zhǎng)晶爐回收
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半導(dǎo)體級(jí)直拉法的工藝控制\進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái),隨著新興產(chǎn)業(yè)的科技創(chuàng)新,半導(dǎo)體行業(yè)得到了的發(fā)展。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,尤其近幾年,大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),縮短該行業(yè)與世界水平的差距。目前雖然有許多新興材料來(lái)替代硅材料,但未來(lái)幾年可以預(yù)見(jiàn),硅材料由于其成熟的技術(shù)品質(zhì)和穩(wěn)定的物理化學(xué)性質(zhì),將會(huì)在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間里是主流材料。硅單晶作為主要材料,應(yīng)用的領(lǐng)域也是相當(dāng)廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經(jīng)過(guò)物理變化,讓硅原子按照人為設(shè)定的方向進(jìn)行生長(zhǎng),終形成的。一般會(huì)采用直拉法進(jìn)行制備。晶圓的直徑越大,集成電路制造的成本將會(huì)越低,因此要求作為材料的硅單晶的直徑也要相應(yīng)的增大。這里面涉及到了一系列問(wèn)題。這篇論文主要討論的是通過(guò)對(duì)熱場(chǎng)的設(shè)計(jì),工藝的過(guò)程控制,減少位錯(cuò)的產(chǎn)生,以及通過(guò)化學(xué)腐蝕對(duì)位錯(cuò)進(jìn)行檢測(cè)的相關(guān)問(wèn)題。 藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，TD-800型軟軸提拉型單晶爐，是根據(jù)用戶實(shí)際需求研發(fā)的新產(chǎn)品。是在流動(dòng)惰性氣體環(huán)境中，以石墨電阻加熱器，將硅半導(dǎo)體材料熔化，用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。它可以生產(chǎn)大規(guī)模太陽(yáng)能電池、集成電路所需要的硅單晶。單晶爐主機(jī)系統(tǒng)包括：底座立柱、坩堝驅(qū)動(dòng)裝置、主爐室、翻板閥室，副爐室，籽晶提升與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、液壓驅(qū)動(dòng)裝置、真空系統(tǒng)，充氣系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)。爐室結(jié)構(gòu)為頂升式，主爐室和副爐室開(kāi)啟時(shí)由液壓傳動(dòng)裝置實(shí)現(xiàn)上移。爐室和副爐室之間，設(shè)有浮動(dòng)式翻板閥室，可在現(xiàn)場(chǎng)維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。

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回收空調(diào)、冷凝器、變壓器、電容柜，電線電纜，輸配電設(shè)備，配電箱、回收變壓器(干式、油式、箱式)、電梯、空壓機(jī)、高壓開(kāi)關(guān)、互感器、回收UBS電瓶、電動(dòng)機(jī)、壓縮機(jī)、機(jī)械設(shè)備、廚房設(shè)備、酒店設(shè)備、辦公設(shè)備、電抗器、穩(wěn)壓器、高壓柜、低壓柜、啟動(dòng)柜，發(fā)電機(jī)組,生產(chǎn)線，活動(dòng)房，配電柜，收購(gòu)交換器，冷凝器，叉車,行車,廠區(qū)行車，集裝箱等等
所述熱場(chǎng)73套裝在化料器坩堝72的外側(cè)，便硅料依次進(jìn)入加料坩堝62、裝料器71和化料器坩堝72，并在化料器坩堝72內(nèi)經(jīng)熱場(chǎng)73熔化后又進(jìn)入主爐室坩堝21，為了方便外部加料器6的移動(dòng)、拆卸和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括用于驅(qū)動(dòng)外部加料器6升降的加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和用于驅(qū)動(dòng)外部加料器6旋轉(zhuǎn)的加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，所述外部加料器6通過(guò)加料器旋臂8連接在加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置上，以便通過(guò)加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)加料器旋臂8升降，并通過(guò)加料器旋臂8帶動(dòng)外部加料器6升降，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置連接在加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋臂8之間，以便加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置隨加料器旋臂8一起升降，并通過(guò)加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)加料器旋臂8旋轉(zhuǎn)，加料器旋臂8又帶動(dòng)外部加料器6旋轉(zhuǎn)。