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更新時(shí)間:2025-09-21 [舉報(bào)]
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提拉頭:主要由安裝盤 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成、副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成、 爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒:包括取光孔、下爐筒:包括抽真空管道、底座機(jī)架:全鑄鐵機(jī)架和底座? 坩堝下傳動(dòng)裝置:主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動(dòng)支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成、分水器已經(jīng)水路布置:包括分水器,進(jìn)水水管,若干膠管 水管卡套等、管道布置:質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個(gè)壓力探測(cè)器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過(guò)濾器 真空管道 硬波紋管’電源以及電控柜:電源柜 濾波柜、控制柜、以及連接線等等、藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長(zhǎng)晶爐回收,多晶長(zhǎng)晶爐回收,臥式長(zhǎng)晶爐回收,拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,本發(fā)明的直拉式單晶生長(zhǎng)爐中,經(jīng) 輸入管輸入的氣壓為0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量為30L/min。 該流量不但不影響該爐中單晶的生長(zhǎng),平均每個(gè)直拉式單晶生長(zhǎng)爐每 天可少消耗1440L,有效降低了生產(chǎn)成本,且利于在硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程 中單晶分子排列結(jié)構(gòu)的整齊性,還利于提高電阻率的均布性。(2)本發(fā)明 的直拉式單晶生長(zhǎng)爐中,碗形的氣流導(dǎo)向裝置設(shè)于坩堝支持器下方和爐底部的排氣口之間,且氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔及一對(duì)電極孔分別與該爐的石 墨中軸及一對(duì)電極孔配合設(shè)置,有效地減小了爐內(nèi)空間,便于迅速及時(shí)地 將爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體排出,且利于減少熱能和的消耗量,使原有的引晶功率從65KW減到61KW;另外,由于該爐的排氣口與氣流 導(dǎo)向裝置的各通氣孔相連通,
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浙江富陽(yáng)濾波柜回收 浙江富陽(yáng)提拉式長(zhǎng)晶爐回收在本實(shí)施例中,所述副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12的結(jié)構(gòu)和加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)一致,所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13的結(jié)構(gòu)和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)也一致。為了防止在副爐室3移動(dòng)到取晶位的過(guò)程中,因晶棒掉落而出現(xiàn)事故,連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動(dòng)到取晶位的過(guò)程中用于承接晶棒的電動(dòng)接晶托,所述電動(dòng)接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動(dòng)推桿152、接晶托電機(jī)154和固定管151,所述電動(dòng)推桿152連接在副爐室旋臂14上,所述提升桿連接在電動(dòng)推桿152的推桿上,以便通過(guò)推桿的升降帶動(dòng)提升桿升降,所述接晶托電機(jī)154連接在提升桿上,所述托板153連接在接晶托電機(jī)154的輸出軸上,以便通過(guò)接晶托電機(jī)154驅(qū)動(dòng)托板153旋轉(zhuǎn),所述固定管151套裝在提升桿和電動(dòng)推桿152的推桿的外側(cè),所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。
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