


本發(fā)明可通過(guò)加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置將外部加料器移出工作位并旋開(kāi),進(jìn)而方便拆爐和清理,本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件;、本發(fā)明可通過(guò)副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)副爐室移動(dòng),并在副爐室移取晶位的過(guò)程中,通過(guò)電動(dòng)接晶托防止晶棒掉落,安全;、當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí),通過(guò)化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置,并通過(guò)化料器旋臂的旋轉(zhuǎn)旋開(kāi)外部化料器,進(jìn)而方便拆爐和清理;、本發(fā)明通過(guò)減震裝置對(duì)下驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行減震,使拉晶時(shí)下驅(qū)動(dòng)裝置不受外界震動(dòng)影響,進(jìn)而保晶棒質(zhì)量。