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提拉頭:主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環(huán) 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成、副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成、 爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒:包括取光孔、下爐筒:包括抽真空管道、底座機架:全鑄鐵機架和底座? 坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成、分水器已經(jīng)水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管 水管卡套等、管道布置:質(zhì)量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管’電源以及電控柜:電源柜 濾波柜、控制柜、以及連接線等等、藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,為現(xiàn)有技術的切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的直拉式單晶生長 爐的剖面結(jié)構示意圖2為圖1中的輸入管與環(huán)形氣體分布器的結(jié)構示意圖3為實施例1中直拉式單晶生長爐的氣流導向裝置的結(jié)構示意圖4為圖3的A-A剖面視圖5為為圖3的B-B剖面視圖6為實施例1中直拉式單晶生長爐的剖面結(jié)構示意圖7為實施例1中直拉式單晶生長爐的另一剖面結(jié)構示意圖。

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單晶爐真空系統(tǒng)的除塵技術/單晶爐是單晶體生長設備。單晶體生長要求在真空和惰性氣體中進行。真空裝置應能保爐體內(nèi)熱真空度達5×1024mm 柱以上。如果使用惰性氣體作保護氣氛,爐體上、下都設有進出氣的氣口。生長單晶體時,抽真空及真空裝置注入惰性氣體后都需配備除塵裝置。西安理工大學工廠生產(chǎn)的混合式除塵器較好地解決了這一問題。本廠單晶爐系列:TDR262A (B)、TDR280、TDR270A 等多種爐型近百臺產(chǎn)品都使用這種除塵器。實踐明,它的主要優(yōu)點是除塵,能適應不同抽氣階段真空度的要求,容塵量大。其具體結(jié)構見圖2、圖3。該除塵器綜合運用離心力、慣性碰撞、接觸阻留、擴散這幾種除塵機理。
標簽:長晶爐回收
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