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上虞半導(dǎo)體材料生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計、制造和調(diào)試的股份制企業(yè)。通過人才引進,擁有一批高、中級技術(shù)型的研發(fā)設(shè)計人員和經(jīng)營管理人才,具有自主的產(chǎn)品設(shè)計開發(fā)能力和相當(dāng)規(guī)模的生產(chǎn)能力。依托浙江大學(xué)機械電子控制工程研究所的高科技優(yōu)勢,通過與浙江大學(xué)大學(xué)科技園杭州慧翔電液技術(shù)開發(fā)有限合作,共同開發(fā)出擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的ZJS系列TDR80A,TDR80B,TDR8,TDR9型全自動晶體生長爐,并形成批量生產(chǎn)。
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德國CGS GmbH/德國Crystal Growing Systems (CGS) GmbH成立于1999年8月,其前身為德國萊寶晶體生長部。目前其產(chǎn)品已經(jīng)覆蓋生產(chǎn)6”到16”單晶硅棒的設(shè)備,設(shè)備主要有EKZ2700、 EKZ 3500/200、EKZ 3000/300,EKZ 3000/400型,投料量分別為60kg、150kg、300kg,400kg。EKZ-2700 EKZ3500/200 EKZ3000/300 EKZ3000/40 德國CGS單晶爐圖(來自產(chǎn)品樣本)近年來,國產(chǎn)單晶硅生長爐設(shè)備行業(yè)發(fā)展迅速,已經(jīng)占據(jù)絕大部分的份額。,國內(nèi)單晶硅生長爐設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)進步明顯,逐步解決了單晶硅生長爐的關(guān)鍵技術(shù)難題,可以滿足太陽能光伏晶體硅制備的需求。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,用于熔化硅料的外部化料器7,所述外部化料器7的和加料坩堝62相連通,所述外部化料器7的底端和主爐室坩堝21相連通,以便將硅料加加料坩堝62后,硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化,被熔化后的硅料流主爐室坩堝21內(nèi)。具體地,外部加料器6和外部化料器7之間設(shè)置有旋閥64,以便通過旋閥64控制外部加料器6和外部化料器7之間是否連通,所述外部化料器包括裝料器71、化料器坩堝72和用于給化料器坩堝72加熱以便硅料熔化的熱場73,所述裝料器71和加料坩堝62相連通,所述化料器坩堝72和裝料器71相連通,