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大直徑硅單晶的制備與數(shù)值分析\大直徑硅單晶是微電子工業(yè)的基礎(chǔ)材料,廣泛應(yīng)用于集成電路備件和硅片制造領(lǐng)域,是現(xiàn)今信息社會的基石。根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)的報告,大直徑硅單晶的需求依然旺盛,450mm硅單晶要繼續(xù)開發(fā)研究。當(dāng)前主流集成電路設(shè)備用部件急需400mm硅單晶并提出低成本的要求,開發(fā)400mm硅單晶和研究晶體制備的工藝過程,無疑具有重要的理論意義和現(xiàn)實需求。同時,開發(fā)下一代450mm集成電路用硅晶體、研究外加磁場對改善晶體質(zhì)量的作用,對于我國未來制造450mm硅片具有重要的戰(zhàn)略意義。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進一步提供了一種加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置的具體結(jié)構(gòu)，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置包括旋轉(zhuǎn)電機、旋轉(zhuǎn)絲桿、旋轉(zhuǎn)套和固定座，所述旋轉(zhuǎn)套鉸接在拖板上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿可旋轉(zhuǎn)地支承在固定座上，所述旋轉(zhuǎn)電機安裝在固定座上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿的一端部和旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸相連接，所述旋轉(zhuǎn)絲桿的另一端部和旋轉(zhuǎn)套通過螺紋連接，所述加料器旋臂鉸接在拖板上，以便通過旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動旋轉(zhuǎn)絲桿在旋轉(zhuǎn)套內(nèi)旋進旋出，使得固定座產(chǎn)生位移，并使固定座帶動加料器旋臂旋轉(zhuǎn)。進一步為了方便副爐室移動到取晶位，并方便副爐室的拆解、清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅(qū)動裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，所述所述副爐室通過副爐室旋臂連接在副爐室升降驅(qū)動裝置上，以便通過副爐室升降驅(qū)動裝置驅(qū)動副爐室旋臂升降，并通過副爐室旋臂帶動副爐室升降，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接在副爐室升降驅(qū)動裝置和副爐室旋臂之間，以便使得副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置隨副爐室旋臂一起升降，并通過副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動副爐室旋臂旋轉(zhuǎn)，副爐室旋臂又帶動副爐室旋轉(zhuǎn)。

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具體實施方式、本實施例的直拉式單晶生長爐包括輸入管12、與氬 氣輸入管12相連通的環(huán)形氣體分布器11;其特征在于經(jīng)輸入管12 輸入的氣壓為0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量為30L/min。還包括設(shè)于該爐的坩堝支持器14下方和該爐底部的排氣口 13之間 的碗形的氣流導(dǎo)向裝置20;其包括設(shè)于氣流導(dǎo)向裝置20底部的中軸 孔2-l、設(shè)于所述中軸孔2-1兩側(cè)的一對電極孔2-2、以及設(shè)于所述中軸孔 2-1兩側(cè)并與該爐的排氣口 13相對的通氣孔2-3;該爐的石墨中軸21穿過所述氣流導(dǎo)向裝置20的中軸孔2-1，該爐的一對電極柱15分別穿過所述電 極孔2-2，該爐的排氣口 13與氣流導(dǎo)向裝置20的各通氣孔2-3相連通，氣 流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4設(shè)于該爐的保溫筒17與發(fā)熱體16之間。