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為了使拖板92更平穩(wěn)地升降，所述立柱10和拖板92之間還設(shè)置有用于導(dǎo)向拖板92的升降的導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置包括設(shè)置在立柱10上的導(dǎo)軌101和設(shè)置在拖板92上的滑塊，所述拖板92通過(guò)滑塊與導(dǎo)軌101的配合滑配在立柱10上。為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述升降絲桿91的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。所述加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2內(nèi)的零部件，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)111、旋轉(zhuǎn)絲桿112、旋轉(zhuǎn)套113和固定座114，所述旋轉(zhuǎn)套113鉸接在拖板92上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112可旋轉(zhuǎn)地支承在固定座114上，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)111安裝在固定座114上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的一端部和旋轉(zhuǎn)電機(jī)111的輸出軸相連接，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的另一端部和旋轉(zhuǎn)套113通過(guò)螺紋連接，所述加料器旋臂8鉸接在拖板92上，以便通過(guò)旋轉(zhuǎn)電機(jī)111驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)絲桿112在旋轉(zhuǎn)套113內(nèi)旋進(jìn)旋出，使得固定座114產(chǎn)生位移，并使固定座114帶動(dòng)加料器旋臂8旋轉(zhuǎn)。具體地，為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。

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進(jìn)一步為了避免下驅(qū)動(dòng)裝置受到外界震動(dòng)的影響，進(jìn)而保下驅(qū)動(dòng)裝置的工作精，所述底座和下驅(qū)動(dòng)裝置之間設(shè)置有減震裝置，所述下驅(qū)動(dòng)裝置的底端設(shè)置有承載板，所述承載板通過(guò)少兩個(gè)螺釘固定連接在底座上，所訴減震裝置包括與螺釘分別一一對(duì)應(yīng)的下減震橡膠墊和上減震橡膠墊，所述下減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)南露瞬?，所述下減震橡膠墊的底部和底座抵接，所述下減震橡膠墊的頂部和承載板抵接，以便于通過(guò)下橡膠減震墊吸收從外界傳來(lái)的震動(dòng)，以避免下驅(qū)動(dòng)裝置受到外界震動(dòng)的影響，所述上減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)纳隙瞬?，且所述上減震橡膠墊與承載板的上端面壓接，以避免螺釘?shù)恼饎?dòng)影響到承載板。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，并在副爐室3移取晶位的過(guò)程中，通過(guò)電動(dòng)接晶托防止晶棒掉落，安全；當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，通過(guò)化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置，并通過(guò)化料器旋臂18的旋轉(zhuǎn)旋開(kāi)外部化料器7，進(jìn)而方便拆爐和清理；本發(fā)明通過(guò)減震裝置對(duì)下驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行減震，使拉晶時(shí)下驅(qū)動(dòng)裝置不受外界震動(dòng)影響，進(jìn)而保晶棒質(zhì)量；本發(fā)明的升降絲桿91、旋轉(zhuǎn)絲桿112和絲杠192的外側(cè)分別套裝有防塵罩，進(jìn)而防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料。