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全文摘要為減少直拉式單晶生長(zhǎng)爐的消耗的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種直拉式單晶生長(zhǎng)爐，其包括輸入管、與輸入管相連通的環(huán)形氣體分布器；其特征在于經(jīng)輸入管輸入的氣壓為0.8×10³Pa0.9×10³Pa，流量為30L/min。還包括設(shè)于坩堝支持器下方和排氣口之間的碗形氣流導(dǎo)向裝置；其包括中軸孔、一對(duì)電極孔、以及與排氣口相對(duì)的通氣孔；石墨中軸穿過(guò)所述氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔，所述電極柱分別穿過(guò)所述電極孔，排氣口與氣流導(dǎo)向裝置的各通氣孔相連通，氣流導(dǎo)向裝置的上端部設(shè)于保溫筒與發(fā)熱體之間。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，上虞半導(dǎo)體材料生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造和調(diào)試的股份制企業(yè)。通過(guò)人才引進(jìn)，擁有一批高、中級(jí)技術(shù)型的研發(fā)設(shè)計(jì)人員和經(jīng)營(yíng)管理人才，具有自主的產(chǎn)品設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)能力和相當(dāng)規(guī)模的生產(chǎn)能力。依托浙江大學(xué)機(jī)械電子控制工程研究所的高科技優(yōu)勢(shì)，通過(guò)與浙江大學(xué)大學(xué)科技園杭州慧翔電液技術(shù)開(kāi)發(fā)有限合作，共同開(kāi)發(fā)出擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的ZJS系列TDR80A，TDR80B，TDR8，TDR9型全自動(dòng)晶體生長(zhǎng)爐，并形成批量生產(chǎn)。

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半導(dǎo)體級(jí)直拉法的工藝控制\進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái),隨著新興產(chǎn)業(yè)的科技創(chuàng)新,半導(dǎo)體行業(yè)得到了的發(fā)展。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,尤其近幾年,大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),縮短該行業(yè)與世界水平的差距。目前雖然有許多新興材料來(lái)替代硅材料,但未來(lái)幾年可以預(yù)見(jiàn),硅材料由于其成熟的技術(shù)品質(zhì)和穩(wěn)定的物理化學(xué)性質(zhì),將會(huì)在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間里是主流材料。硅單晶作為主要材料,應(yīng)用的領(lǐng)域也是相當(dāng)廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經(jīng)過(guò)物理變化,讓硅原子按照人為設(shè)定的方向進(jìn)行生長(zhǎng),終形成的。一般會(huì)采用直拉法進(jìn)行制備。晶圓的直徑越大,集成電路制造的成本將會(huì)越低,因此要求作為材料的硅單晶的直徑也要相應(yīng)的增大。這里面涉及到了一系列問(wèn)題。這篇論文主要討論的是通過(guò)對(duì)熱場(chǎng)的設(shè)計(jì),工藝的過(guò)程控制,減少位錯(cuò)的產(chǎn)生,以及通過(guò)化學(xué)腐蝕對(duì)位錯(cuò)進(jìn)行檢測(cè)的相關(guān)問(wèn)題。