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國產(chǎn)光刻膠PMMA電子束正性光刻膠CJ3110

更新時間:2025-09-22 [舉報]

廈門光刻膠  國產(chǎn)光刻膠


  • CJ3110屬于?PMMA電子束正性光刻膠?,通過電子束曝光引發(fā)聚合物主鏈斷裂,使曝光區(qū)域溶于顯影液,實現(xiàn)高分辨率圖形轉(zhuǎn)移。適用于納米級直寫工藝(如T-gate制造)

  • ?分辨率?:PMMA電子束光刻膠分辨率可達?10nm以下?,其中950系列(如PMMA 950)專為高分辨率應用優(yōu)化,495系列則適用于常規(guī)需求

  • ?敏感度?:典型電子束曝光劑量范圍為?50-150mJ/cm2?,具體需根據(jù)分子量和配方調(diào)整

  • ?粘度?:粘度通常為?1-20cps?(厘泊),低粘度設計便于旋涂成膜,膜厚可通過轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)(每增加1000rpm減少約30%)

  • ?耐溫性?:可耐受?120-150℃后烘溫度?,確保圖形穩(wěn)定性



標簽:國產(chǎn)光刻膠光刻膠
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