氧化鋁拋光液作為一種常用的表面處理劑,具有良好的拋光效果和穩(wěn)定性。正確選擇和使用拋光液,可以提高材料的表面質(zhì)量和光潔度,達(dá)到預(yù)期的拋光效果。
氧化鋁拋光液適用于金相和巖相研磨、拋光外,還適用于各種黑色和有色金屬、陶瓷、復(fù)合材料以及寶石、儀表、光學(xué)玻璃等產(chǎn)品的高光潔度表面的研磨及拋光。極細(xì)的磨料能夠得到需要的超精拋光平面。
優(yōu)點(diǎn):
1.懸浮性好,不易沉淀,使用方便。
2.顆粒分散均勻,不團(tuán)聚,軟硬度適中,有效避免拋光過程中由于顆粒團(tuán)聚導(dǎo)致的工件表面劃傷缺陷。
3.運(yùn)用拋光過程中的化學(xué)新作用,提高拋光速度,改善拋光表面的質(zhì)量。
4.分散性好、乳液均一,程度提升拋光速率的同時(shí)降低微劃傷的概率,可以提高拋光精度。
5.無粉塵產(chǎn)生,關(guān)注環(huán)保和人體健康安全。
注意事項(xiàng):
●投入使用可以在鉆石液研磨后或碳化硼研磨后使用。
●拋光液原漿PH在12.5-13.5之間,稀釋后PH太低會(huì)影響去除率。
●使用中控制拋光墊溫度在45度以下。拋光液循環(huán)使用后,去除率下降,由單位確定是否換新液。
●拋光液的拋光效率,無結(jié)晶、濃縮液易清洗:推薦稀釋比例(1:3~1:5)。
化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)技術(shù)具有特的化學(xué)和機(jī)械相結(jié)合的效應(yīng),是在機(jī)械拋光的基礎(chǔ)上,根據(jù)所要拋光的表面,加入相應(yīng)的化學(xué)試劑,從而達(dá)到增強(qiáng)拋光和選擇性拋光的效果。化學(xué)機(jī)械拋光液的性能是影響化學(xué)機(jī)械拋光質(zhì)量和拋光效率的關(guān)鍵因素之一。拋光液一般包含氧化劑、絡(luò)合劑、表面活性劑、磨料、pH調(diào)節(jié)劑、腐蝕抑制劑等成分,各種添加劑的選擇和含量對拋光效果都會(huì)產(chǎn)生很大的影響。
目前市場上使用為廣泛的幾種磨料是SiO2、CeO2、Al2O3。其中Al2O3憑借其硬度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于藍(lán)寶石、碳化硅等材料的CMP技術(shù)中。Al2O3具有10余種晶型,其中常見的為α、β、γ等,一般選用50~200nm粒徑分布均勻的α-Al2O3作為拋光磨粒。