商品化的低溫泵可以在很小的口徑下提供大的抽速 (5)低溫泵是基于低溫吸附而工作的,不需要其他電子材料,不會(huì)有波動(dòng); (6)在真空中無任何運(yùn)動(dòng)部件,高穩(wěn)定性,也不會(huì)帶來密封問題; (7)低溫泵的安裝無任何方向要求; (8)低溫泵還可以進(jìn)行選擇性的抽取某種氣體。
吸附材料對(duì)低溫泵的工作性能具有較大的影響。單從真空獲得方面來說,一臺(tái)無任何吸附劑的低溫泵或許也可以滿足要求。但是,一般情況下低溫泵是依靠液氦或制冷機(jī)而獲得低溫的,其溫度能達(dá)到4 K。而此時(shí)又需要低溫泵抽除氦氣,因?yàn)檎婵諜z漏會(huì)經(jīng)常用到氦氣。
對(duì)吸附材料進(jìn)行表征的物理量主要有:幾何形狀和顆粒大小分布;表面結(jié)構(gòu);密度;比表面積;孔徑分布、孔容和平均孔徑大小等。研究低溫泵的吸附材料主要是通過以上參數(shù)的表征而進(jìn)行的。
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