檢驗(yàn)方法 ： 通常使用氣相色譜法（GC）或質(zhì)譜法（MS）進(jìn)行高純空氣的純度分析。 檢測過程中需確保儀器的精度和穩(wěn)定性，避免外界污染。

2. 采樣要求 ： 采樣流量范圍一般為 0.10 L/min ~ 1.00 L/min ，流量計(jì)的精度應(yīng)不低于 2.5級(jí) 。 采樣袋應(yīng)選用化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、不與待測氣體發(fā)生反應(yīng)的材料。

3. 校準(zhǔn) ： 在檢測前，需使用高純氮?dú)饣蚋呒兛諝鈱x器進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)。