配合不同探測(cè)器的選擇,使Sigma 廣泛地適用于您的應(yīng)用:無(wú)論是正在開發(fā)的新材料、用于質(zhì)量檢查的顆粒還是生物或地質(zhì)標(biāo)本,該電鏡可助您研究各種樣品。在極端條件下,利用可變壓力(VP)成像,借助NanoVPlite,即使在低電壓下,也能在非導(dǎo)體上獲得出色的圖像和分析結(jié)果。
蔡司解決方案在增材制造領(lǐng)域的應(yīng)用范圍覆蓋粉末和材料分析,所使用的設(shè)備包括光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡、X射線技術(shù)。
使用光學(xué)顯微鏡來(lái)測(cè)試金屬粉末的粒徑分布
使用SEM掃描電鏡對(duì)3D打印金屬粉末的球形度和實(shí)心性進(jìn)行分析
使用CT對(duì)粉末顆粒的寬高比和粒徑進(jìn)行分析
對(duì)于內(nèi)部缺陷,蔡司的解決方案也能輕松檢測(cè),比如微裂紋、分層、疲勞裂紋、盈利、孔隙率、粉末殘留物和氣孔等。
蔡司 Lightsheet Z.1 恰恰能實(shí)現(xiàn)這一切。的多視角激光片層掃描顯微成像系統(tǒng)(Light Sheet Microscopy)能夠記錄大型活體樣品的發(fā)育過(guò)程,對(duì)樣品低損傷地成像,提供更多的信息。
成像速度極快:Lightsheet Z.1 是一款能以極快速度獲取光學(xué)切片的顯微工具,可讓您以亞細(xì)胞分辨率獲得完整的樣品圖像,耗時(shí)卻遠(yuǎn)少于采用其它技術(shù)所需的時(shí)間。
電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后,打到樣品上與樣品相互作用,會(huì)產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線等一系列信號(hào)。所以需要不同的探測(cè)器譬如二次電子探測(cè)器、X射線能譜分析儀等來(lái)區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。雖然X射線信號(hào)不能用于成象,但習(xí)慣上,仍然將X射線分析系統(tǒng)劃分到成象系統(tǒng)中。
有些探測(cè)器造價(jià)昂貴,比如Robinsons式背散射電子探測(cè)器,這時(shí),可以使用二次電子探測(cè)器代替,但需要設(shè)定一個(gè)偏壓電場(chǎng)以篩除二次電子。
掃描電鏡是一種多功能的儀器、具有很多的性能、是用途為廣泛的一種儀器.它可以進(jìn)行如下基本分析:?
1、觀察納米材料
:
其具有很高的分辨率,可以觀察組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1-100nm范圍內(nèi),在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。
2、材料斷口的分析:
其景深大,圖象富立體感,具有三維形態(tài),能夠從斷口形貌呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì),在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個(gè)強(qiáng)有力的手段。?
3、直接觀察大試樣的原始表面:
它能夠直接觀察直徑100mm,高50mm,或更大尺寸的試樣,對(duì)試樣的形狀沒(méi)有任何限制,粗糙表面也能觀察,這便免除了制備樣品的麻煩,而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背散射電子象)。
4、觀察厚試樣:
其在觀察厚試樣時(shí),能得到高的分辨率和真實(shí)的形貌。
5、觀察試樣的各個(gè)區(qū)域的細(xì)節(jié):
試樣在樣品室中可動(dòng)的范圍非常大,可以在三度空間內(nèi)有6個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)(即三度空間平移、三度空間旋轉(zhuǎn)),這對(duì)觀察不規(guī)則形狀試樣的各個(gè)區(qū)域帶來(lái)的方便。
6、在大視場(chǎng)、低放大倍數(shù)下觀察樣品,用掃描電鏡觀察試樣的視場(chǎng)大:
大視場(chǎng)、低倍數(shù)觀察樣品的形貌對(duì)有些領(lǐng)域是很必要的,如刑事偵察和考古。?
7、進(jìn)行從高倍到低倍的連續(xù)觀察:
掃描電鏡的放大倍數(shù)范圍很寬(從5到20萬(wàn)倍連續(xù)可調(diào)),且一次聚焦好后即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續(xù)觀察,不用重新聚焦,這對(duì)進(jìn)行分析特別方便。?
8、觀察生物試樣:
由于電子照射面發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小,這一點(diǎn)對(duì)觀察一些生物試樣特別重要。?
9、進(jìn)行動(dòng)態(tài)觀察:
如果在樣品室內(nèi)裝有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件,則可以觀察相變、斷烈等動(dòng)態(tài)的變化過(guò)程。?
10、從試樣表面形貌獲得多方面資料:
因?yàn)閽呙桦娮酉蟛皇峭瑫r(shí)記錄的,它是分解為近百萬(wàn)個(gè)逐次依此記錄構(gòu)成的。使得掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進(jìn)行成分和元素的分析,以及通過(guò)電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析,選區(qū)尺寸可以從10μm到3μm。?
由于掃描電鏡具有上述特點(diǎn)和功能,所以越來(lái)越受到科研人員的重視,用途日益廣泛?,F(xiàn)在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害(火災(zāi)、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。
設(shè)備廠家
德國(guó)蔡司、日本電子、日立、FEI等
測(cè)試機(jī)構(gòu)
各大高校、科研院所等
疑難解答
1、樣品導(dǎo)電性不好的話,對(duì)成像會(huì)有什么影響?
樣品導(dǎo)電性不好會(huì)產(chǎn)生放電現(xiàn)象(也有人叫荷電現(xiàn)象)。像會(huì)有很亮很亮地方出現(xiàn)。解決辦法:減低加速電壓,用BSE探頭,或者低真空[A10]?。
2、加高壓及關(guān)高壓后放氣各有什么主意事項(xiàng)呢?
加高壓般要達(dá)到額定真空,否則氣體電離度大、損傷電子槍,但是電鏡軟件一般都已經(jīng)設(shè)置好,不到工作真空,根本加不上去高壓,所以只要能夠加高壓,也無(wú)其他特別的問(wèn)題;做完電鏡關(guān)閉高壓,等30秒以上,待燈絲冷卻后再放氣為宜,主要也是為了保護(hù)電子槍。
3、SEM升樣品臺(tái)有什么主意事項(xiàng)呢?
樣品臺(tái)有它的額定移動(dòng)距離,包括平面方向和上下方向,平面方向移動(dòng)到極會(huì)有報(bào)警提示,看到提示往回移動(dòng)即可。高度方向也如此,但是要注意向上移動(dòng)時(shí),要緩慢,要防止堅(jiān)硬的試樣撞擊上方的探測(cè)器和極靴,損壞設(shè)備
掃描電鏡及X射線能譜儀或電子探針為準(zhǔn)確鑒定鋼中非金屬夾雜物屬性提供了非??煽康募夹g(shù),他可以將D類等非金屬夾雜物的二維和三維形貌、與所含元素的X射線元素面分布圖、與其內(nèi)含有元素或所含簡(jiǎn)單氧化物的重量百分?jǐn)?shù)和原子百分?jǐn)?shù)定量分析結(jié)果有機(jī)結(jié)合起來(lái),對(duì)這種D類非金屬夾雜物給出一個(gè)全新的詮釋。由此,作者提出了非金屬夾雜物的相結(jié)構(gòu)概念