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并在副爐室3移取晶位的過程中，通過電動(dòng)接晶托防止晶棒掉落，安全；當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，通過化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置，并通過化料器旋臂18的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器7，進(jìn)而方便拆爐和清理；本發(fā)明通過減震裝置對下驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行減震，使拉晶時(shí)下驅(qū)動(dòng)裝置不受外界震動(dòng)影響，進(jìn)而保晶棒質(zhì)量；本發(fā)明的升降絲桿91、旋轉(zhuǎn)絲桿112和絲杠192的外側(cè)分別套裝有防塵罩，進(jìn)而防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料。藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置將外部加料器移出工作位并旋開，進(jìn)而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件；、本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)副爐室移動(dòng)，并在副爐室移取晶位的過程中，通過電動(dòng)接晶托防止晶棒掉落，安全；、當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，通過化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并通過化料器旋臂的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器，進(jìn)而方便拆爐和清理；、本發(fā)明通過減震裝置對下驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行減震，使拉晶時(shí)下驅(qū)動(dòng)裝置不受外界震動(dòng)影響，進(jìn)而保晶棒質(zhì)量。

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從除塵區(qū)域經(jīng)上盤12 個(gè)圓孔進(jìn)入排氣區(qū)域(排氣筒) 的棄塵氣流終由排氣口排出除塵器。上面主要論述了這種混合式除塵器的除塵機(jī)理和過程。值得提出的是，出于某些因素的考慮例如體積小、結(jié)構(gòu)簡單、經(jīng)濟(jì)性等等，該除塵器略去了排塵區(qū)域。所以，應(yīng)該經(jīng)常性拆卸進(jìn)行清灰工作。下面給出這種除塵器的主要技術(shù)參數(shù)：圓柱容器高度H = 900mm; 內(nèi)徑= á 270mm; 進(jìn)氣口軸線偏離圓柱容器線e= 85mm; 進(jìn)氣口與排氣口通徑均為á 89mm。內(nèi)、外層金屬網(wǎng)均采用50 目的不銹鋼絲網(wǎng)。順便提一下，在很多情況下，用戶拆去全部金屬桿和金屬網(wǎng)，僅以離心力作為主要除塵機(jī)理便滿足了單晶爐真空系統(tǒng)的除塵要求。