江蘇東臺(tái)長(zhǎng)晶爐回收 分子泵回收聯(lián)系電話(huà)
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為了方便副爐室3移動(dòng)到取晶位，并方便副爐室3的拆解、清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13，所述所述副爐室3通過(guò)副爐室旋臂14連接在副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12上，以便通過(guò)副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12驅(qū)動(dòng)副爐室旋臂14升降，并通過(guò)副爐室旋臂14帶動(dòng)副爐室3升降，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13連接在副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12和副爐室旋臂14之間，以便使得副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13隨副爐室旋臂14一起升降，并通過(guò)副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13驅(qū)動(dòng)副爐室旋臂14旋轉(zhuǎn)，副爐室旋臂14又帶動(dòng)副爐室3旋轉(zhuǎn)。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，發(fā)明內(nèi)容、本發(fā)明的目的是提供一種易于及時(shí)排出爐內(nèi)的混合氣體，且可減少熱 能及消耗的直拉式單晶生長(zhǎng)爐。實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案是提供一種直拉式單晶生長(zhǎng)爐，其包括 輸入管、與輸入管相連通的環(huán)形氣體分布器；其特征在于經(jīng)氬 氣輸入管輸入的氣壓為0. 8xl0a0. 9xl0a,流量為 30L/min。上述技術(shù)方案中，還包括設(shè)于直拉式單晶生長(zhǎng)爐的坩堝支持器下方和 該爐底部的排氣口之間的氣流導(dǎo)向裝置；該氣流導(dǎo)向裝置為碗形，其包括 設(shè)于氣流導(dǎo)向裝置底部的中軸孔、設(shè)于所述中軸孔兩側(cè)的 一對(duì)電極孔、 以及設(shè)于所述中軸孔兩側(cè)并與該爐的排氣口相對(duì)的通氣孔；該爐的石墨中 軸穿過(guò)所述氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔，該爐的 一對(duì)電極柱分別穿過(guò)所述電極 孔，該爐的排氣口與氣流導(dǎo)向裝置的各通氣孔相連通，氣流導(dǎo)向裝置的上 端部設(shè)于該爐的保溫筒與發(fā)熱體之間。

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而采用有限元法數(shù)值模擬是一種優(yōu)化單晶爐設(shè)計(jì)的重要工具。本文對(duì)采用矮加熱器的復(fù)合式熱場(chǎng)進(jìn)行了數(shù)值模擬,得到了流場(chǎng)分布圖和熱場(chǎng)溫度分布圖。對(duì)新型熱屏和矮加熱器對(duì)晶體生長(zhǎng)的影響進(jìn)行了系統(tǒng)的理論分析和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)工作。結(jié)果表明,新型熱屏不僅起到導(dǎo)流筒的作用,改進(jìn)了流場(chǎng),使單晶氧含量下降;而且熱屏解決了大直徑單晶生長(zhǎng)中結(jié)晶潛熱難以散發(fā)的問(wèn)題,大大提高了拉晶速率,降低了生產(chǎn)成本。