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電控系統(tǒng)采用微機(jī)控制，功能全、精度高、穩(wěn)定性好。且具有以下特點(diǎn)：溫度自動(dòng)控制系統(tǒng)\電機(jī)調(diào)速控制系統(tǒng)\單晶直徑自動(dòng)控制系統(tǒng)\單晶熔體自動(dòng)跟蹤系統(tǒng)\單晶重量及長(zhǎng)度顯示功能\各拉晶有關(guān)參數(shù)包括籽晶軸，坩堝軸的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，晶升和堝升速度，爐內(nèi)壓力，冷卻部位溫度等數(shù)據(jù)都采用數(shù)字顯示儀表指示，兩筆記錄儀記錄溫度和籽晶拉速，能穩(wěn)定的控制生長(zhǎng)直徑5～8英寸，直徑均勻的無(wú)錯(cuò)位單晶。采用軟籽晶軸，具有特的晶體提升機(jī)構(gòu)。的磁流體密封技術(shù)，新型翻板閥結(jié)構(gòu)，拱形封頭式爐蓋結(jié)構(gòu)，考慮熱變形采用浮動(dòng)提升結(jié)構(gòu)，防止卡死現(xiàn)象。單晶提拉采用可承受150Kg不銹鋼絲軟軸，電控系統(tǒng)采用微機(jī)控制，紅外測(cè)徑技術(shù)，進(jìn)口電動(dòng)及驅(qū)動(dòng)器，保生長(zhǎng)大扭矩高穩(wěn)定性。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，從除塵區(qū)域經(jīng)上盤(pán)12 個(gè)圓孔進(jìn)入排氣區(qū)域(排氣筒) 的棄塵氣流終由排氣口排出除塵器。上面主要論述了這種混合式除塵器的除塵機(jī)理和過(guò)程。值得提出的是，出于某些因素的考慮例如體積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)性等等，該除塵器略去了排塵區(qū)域。所以，應(yīng)該經(jīng)常性拆卸進(jìn)行清灰工作。下面給出這種除塵器的主要技術(shù)參數(shù)：圓柱容器高度H = 900mm; 內(nèi)徑= á 270mm; 進(jìn)氣口軸線(xiàn)偏離圓柱容器線(xiàn)e= 85mm; 進(jìn)氣口與排氣口通徑均為á 89mm。內(nèi)、外層金屬網(wǎng)均采用50 目的不銹鋼絲網(wǎng)。順便提一下，在很多情況下，用戶(hù)拆去全部金屬桿和金屬網(wǎng)，僅以離心力作為主要除塵機(jī)理便滿(mǎn)足了單晶爐真空系統(tǒng)的除塵要求。

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本文從晶體生長(zhǎng)物理基礎(chǔ)和流體力學(xué)的基本理論出發(fā),結(jié)合硅單晶制備過(guò)程中熱質(zhì)輸運(yùn)的分析,采用實(shí)驗(yàn)和數(shù)值分析相結(jié)合的方法,以大直徑硅單晶制備為主要研究對(duì)象,研究熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)、控制參數(shù)和外加磁場(chǎng)對(duì)大直徑硅單晶生長(zhǎng)的影響。通過(guò)數(shù)值分析的手段,研究了結(jié)構(gòu)參數(shù)和控制參數(shù)對(duì)晶體生長(zhǎng)特性的影響,確定了晶體制備的工藝條件;采用28inch和32inch熱場(chǎng)制備出400mm和45