廢渣主要來源
靶材損耗：濺射過程中未沉積的金屬 / 陶瓷靶材粉末（如鈦、鉻、鋯、氮化鈦等）；
設(shè)備維護：真空腔體內(nèi)殘留的沉積廢料、更換的靶材邊角料；
工藝副產(chǎn)物：反應(yīng)氣體（如 N?、Ar、CH?）與靶材反應(yīng)生成的固態(tài)顆粒物（如碳化物、氮化物）；
廢氣處理殘渣：尾氣凈化裝置（如活性炭吸附、過濾器）捕獲的金屬粉塵。

電鍍廢渣，是一種常見的工業(yè)廢料，由于其含有大量有害物質(zhì)，對環(huán)境造成嚴重污染。然而，電鍍廢渣也是一種潛在的寶藏，其中蘊含著許多稀有金屬和有價值的資源。因此，有效回收電鍍廢渣不僅可以減少環(huán)境污染，還可以提高資源利用率，創(chuàng)造經(jīng)濟效益。

電鍍廢渣中含有大量的稀有金屬和有價值的資源，如金、銀、銅等。這些資源具有重要的經(jīng)濟價值，但由于電鍍廢渣的特殊性，這些寶貴的資源往往被忽視，直接被丟棄或者未經(jīng)充分回收利用。通過電鍍廢渣的回收，可以有效提高資源利用率，降低資源浪費。