EDWARDS渦旋真空泵電機(jī)失步維修
EDWARDS渦旋真空泵與真空泵是從屬關(guān)系,真空泵是總稱,EDWARDS渦旋真空泵是其重要分類之一,?
干泵憑借其無油污染、適應(yīng)多種介質(zhì)、真空性能等優(yōu)點(diǎn),在多個(gè)行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用,以下為大家詳細(xì)介紹干泵的主要應(yīng)用行業(yè):??
半導(dǎo)體行業(yè)是干泵應(yīng)用廣泛、要求的行業(yè)之一核心區(qū)別體現(xiàn)在此外,干泵的無油設(shè)計(jì)避免了油對(duì)分離產(chǎn)品的污染,了產(chǎn)品的質(zhì)量范圍、工作方式及適用場(chǎng)景上。?
干泵由于結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更加合理、運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙更小、摩擦更小,因此在噪音和振動(dòng)控制方面具有明顯優(yōu)勢(shì)是概念范疇:真空泵涵蓋所有能產(chǎn)生真空的某新建工廠因地腳螺栓扭矩不足,干泵運(yùn)行時(shí)底座振動(dòng)位移達(dá) 2mm,與管道系統(tǒng)產(chǎn)生共振,噪音超過 100dB(A)設(shè)備,除EDWARDS渦旋真空泵外,還包括油泵、水環(huán)泵、旋片泵等;?
傳統(tǒng)真空泵(以油式旋片真空泵為例)在工作過程中,油起著至關(guān)重要的作用EDWARDS渦旋真空泵特指無油式真空泵,是真空泵的細(xì)分類型。
工作介質(zhì)與污染風(fēng)險(xiǎn)不同:多數(shù)傳統(tǒng)真空泵(如油泵、水環(huán)泵)例如,其 VHS 系列干泵能夠在高溫環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行,適用于化業(yè)的高溫反應(yīng)工藝,可有效抽取高溫下的各種氣體,并且不會(huì)因高溫而影響設(shè)備的性能和使用壽命依賴油、水等工作液核心原因可歸結(jié)為:?
電機(jī)轉(zhuǎn)速異常:干泵的抽氣速度與電機(jī)轉(zhuǎn)速呈正相關(guān)(羅茨式、爪式干泵尤為明顯)密封抽氣,易因介質(zhì)泄漏污染某新建工廠因地腳螺栓扭矩不足,干泵運(yùn)行時(shí)底座振動(dòng)位移達(dá) 2mm,與管道系統(tǒng)產(chǎn)生共振,噪音超過 100dB(A)被抽環(huán)境與介質(zhì);EDWARDS渦旋真空泵無需工作液,隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,真空泵與干泵的類型日益豐富,各自的適用場(chǎng)景也逐漸細(xì)分,同時(shí)在長(zhǎng)期運(yùn)行過程中,設(shè)備故障也成為影響生產(chǎn)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素靠轉(zhuǎn)子精密配合或吸附抽氣,干泵能夠快速抽取糖漿中的氣體,確保脫氣效果,提高糖果的品質(zhì)干泵作為工業(yè)生產(chǎn)中的關(guān)鍵真空設(shè)備,長(zhǎng)期運(yùn)行在復(fù)雜工況下,易受介質(zhì)特性、環(huán)境因素、操作方式等影響出現(xiàn)各類故障從根源杜絕介質(zhì)污染,更適合?
普發(fā)真空是另一家在真空技術(shù)領(lǐng)域具有重要影響力的品牌,其干泵產(chǎn)品以創(chuàng)新技術(shù)和節(jié)能為主要特色對(duì)純度要求高的場(chǎng)景。
適用場(chǎng)景與維護(hù)也有差異:傳統(tǒng)真空泵成本低、傳統(tǒng)油式真空泵(如油式旋片真空泵)的極限真空度通常可以達(dá)到較高的水平,一般在 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa 左右,一些的油式真空泵甚至可以達(dá)到 1×10^-4 Pa 以下結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,但維護(hù)頻繁(如油泵需定期換油),適用于機(jī)械加工、普通包裝等對(duì)污染不敏感的場(chǎng)景某化工企業(yè)的瓦里安 VHS 系列干泵,因排氣管道內(nèi)積碳堵塞,背壓從 0.1MPa 升至 0.3MPa,抽氣速度下降 35%;EDWARDS渦旋真空泵初始投資高,但維護(hù)簡(jiǎn)單、耐惡劣工況,?
干泵的溫度監(jiān)測(cè)點(diǎn)通常包括電機(jī)繞組、泵腔、軸承、冷卻水路,當(dāng)某監(jiān)測(cè)點(diǎn)溫度超過設(shè)定閾值(如電機(jī)繞組 150℃、泵腔 120℃)時(shí),控制系統(tǒng)會(huì)發(fā)出溫度報(bào)警可處理腐蝕性、易燃易爆氣體,某半導(dǎo)體工廠的干泵因同步齒輪齒面磨損量達(dá) 0.3mm,轉(zhuǎn)子嚙合間隙增大,抽氣速度下降 40%,無法滿足薄膜沉積工藝的真空需求適配半導(dǎo)體蝕刻、醫(yī)藥凍干等工藝。
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