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為了避免下驅(qū)動裝置4受到外界震動的影響,進(jìn)而保下驅(qū)動裝置4的工作精度,所述底座1和下驅(qū)動裝置4之間設(shè)置有減震裝置,所述下驅(qū)動裝置4的底端設(shè)置有承載板41,所述承載板41通過少兩個螺釘16固定連接在底座1上,所訴減震裝置包括與螺釘16分別一一對應(yīng)的下減震橡膠墊171和上減震橡膠墊181,所述下減震橡膠墊171套裝在螺釘16的下端部,所述下減震橡膠墊171的底部和底座1抵接,所述下減震橡膠墊171的頂部和承載板41抵接,以便于通過下橡膠減震171墊吸收從外界傳來的震動,以避免下驅(qū)動裝置4受到外界震動的影響,所述上減震橡膠墊172套裝在螺釘16的上端部,且所述上減震橡膠墊172與承載板41的上端面壓接,以避免螺釘16的震動影響到承載板41。
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所述氣流導(dǎo)向裝置20的中軸孔2-1與該爐的石墨中軸21活 動密封連接,以防止因該中軸孔2-1與石墨中軸21之間的間隙而漏氣,影 響排氣效果,氣流導(dǎo)向裝置20的電極孔2-2分別與該爐的電極柱15密封連 接,以防止因該電極孔2-2與電極柱15之間的間隙而漏氣,影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4的外壁與該爐的保溫 筒17密封連接,以防止因氣流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4的外壁與該爐的 保溫筒17之間的間隙而漏氣,影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置20各通氣孔2-3與該爐的排氣口 13通過通 氣管19相連通,以提高排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置20由石墨制成,石墨具有強(qiáng)度高、抗熱震性好、耐 高溫、抗氧化、電阻系數(shù)小、耐腐蝕、易于精密機(jī)加工等優(yōu)點(diǎn)。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,進(jìn)一步提供了一種加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置的具體結(jié)構(gòu),所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)絲桿、旋轉(zhuǎn)套和固定座,所述旋轉(zhuǎn)套鉸接在拖板上,所述旋轉(zhuǎn)絲桿可旋轉(zhuǎn)地支承在固定座上,所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)安裝在固定座上,所述旋轉(zhuǎn)絲桿的一端部和旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸相連接,所述旋轉(zhuǎn)絲桿的另一端部和旋轉(zhuǎn)套通過螺紋連接,所述加料器旋臂鉸接在拖板上,以便通過旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)絲桿在旋轉(zhuǎn)套內(nèi)旋進(jìn)旋出,使得固定座產(chǎn)生位移,并使固定座帶動加料器旋臂旋轉(zhuǎn)。進(jìn)一步為了方便副爐室移動到取晶位,并方便副爐室的拆解、清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅(qū)動裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置,所述所述副爐室通過副爐室旋臂連接在副爐室升降驅(qū)動裝置上,以便通過副爐室升降驅(qū)動裝置驅(qū)動副爐室旋臂升降,并通過副爐室旋臂帶動副爐室升降,所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接在副爐室升降驅(qū)動裝置和副爐室旋臂之間,以便使得副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置隨副爐室旋臂一起升降,并通過副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動副爐室旋臂旋轉(zhuǎn),副爐室旋臂又帶動副爐室旋轉(zhuǎn)。