半導(dǎo)體測試探針的主要應(yīng)用領(lǐng)域包括芯片設(shè)計(jì)驗(yàn)證、晶圓測試和半導(dǎo)體成品測試。它起著連接芯片/晶圓與測試設(shè)備,并進(jìn)行信號傳輸?shù)暮诵淖饔?,對于半?dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量控制具有重要意義。
探針一般由精密儀器鉚接預(yù)壓后形成,針頭、針尾、彈簧、外管四個基本部件。
由于半導(dǎo)體產(chǎn)品體積小,特別是芯片產(chǎn)品尺寸非常小,探針尺寸要求達(dá)到微米級。它是一種精密電子元器件,具有較高的制造技術(shù)含量。
在晶圓或芯片測試的過程中,通常會使用探針來準(zhǔn)確連接晶圓或芯片的引腳或錫球與測試機(jī),以便檢測產(chǎn)品的導(dǎo)通性、電流性、功能性和老化性等性能指標(biāo)。
探針結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(如針形)作為半導(dǎo)體試驗(yàn)設(shè)備的關(guān)鍵部件、針頭材料(如鎢、鷸銅)、彈性大小等都會影響探針的穩(wěn)定性、細(xì)微性、信號傳導(dǎo)精度等,從而影響探針的測試精度。
垂直探針可以對應(yīng)高密度信號觸點(diǎn)的待測半導(dǎo)體產(chǎn)品的細(xì)間距排列,針尖接觸待測半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的縱向位移可以通過針體本身的彈性變形來提供。懸臂探針為探針部提供適當(dāng)?shù)目v向位移,用于通過橫向懸臂接觸待測半導(dǎo)體產(chǎn)品,以避免探針部對待測半導(dǎo)體產(chǎn)品施加過大的針壓。
由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程十分復(fù)雜,任何一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)錯誤都可能導(dǎo)致大量產(chǎn)品質(zhì)量不合格,甚至對終的應(yīng)用產(chǎn)品的性能產(chǎn)生重大影響。因此,測試在半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中具有非常重要的地位,貫穿于半導(dǎo)體產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造、包裝和應(yīng)用的整個過程中。
探針是半導(dǎo)體試驗(yàn)所需的重要耗材。通過與試驗(yàn)機(jī)、分揀機(jī)、探針臺配合使用,可以篩選出產(chǎn)品設(shè)計(jì)缺陷和制造缺陷,用于設(shè)計(jì)驗(yàn)證、晶圓試驗(yàn)和成品試驗(yàn)。它在確保產(chǎn)品產(chǎn)量、控制成本、指導(dǎo)芯片設(shè)計(jì)和工藝改進(jìn)方面發(fā)揮著重要作用。
在眾多探針技術(shù)中,五孔探針是一種應(yīng)用于流體動力學(xué)領(lǐng)域,特別是對于復(fù)雜流場特性測量的工具。它的設(shè)計(jì)基于伯努利原理和流體連續(xù)性方程,主要用于測量氣流的速度、壓力分布以及流場的湍流特性。五孔探針因其結(jié)構(gòu)包含五個開孔而得名,這五個孔一般按照特定的幾何布局排列。
在收集到的鍍金探針廢料中,可能包含其他金屬和非金屬雜質(zhì)。因此,分揀是必要的步驟,以便將廢料分類和分離。分揀可以通過人工或自動化設(shè)備進(jìn)行。人工分揀需要經(jīng)過培訓(xùn)的工作人員,他們根據(jù)廢料的類型和特征進(jìn)行分類。自動化設(shè)備可以通過傳感器和圖像識別技術(shù)自動分揀廢料。
物理處理主要包括粉碎和篩分。,廢料被送入粉碎機(jī)進(jìn)行粉碎,使其變?yōu)檩^小的顆粒。然后,顆粒通過篩網(wǎng)進(jìn)行分級,分離出不同粒度的廢料。