Inlens 探測(cè)器均放置 在鏡筒內(nèi)正光軸上， 在減少重新校準(zhǔn)耗時(shí) 的同時(shí)有效地縮短了獲取圖像的時(shí)間。 Gemini 電子束推進(jìn)器技術(shù)可以在非常 低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比。
此外， 它確保了電子束在鏡筒中運(yùn)動(dòng)時(shí)始 終保持高加速電壓， 直至出鏡筒后才減速 至設(shè)定電壓， 更大程度地減小外部雜散磁 場(chǎng)對(duì)系統(tǒng)靈敏度的影響。GeminiSEM 360 、 GeminiSEM 460 和 GeminiSEM 560 三 者 均 應(yīng)用了 Gemini 設(shè)計(jì)、 Inlens 探測(cè)器和電子 束推進(jìn)器技術(shù)。

? 通過 Nano-twin 物鏡實(shí)現(xiàn)低電壓下的優(yōu) 化高分辨率
? 通過新的大視野概覽模式實(shí)現(xiàn)樣品導(dǎo)航和 高分辨率成像之間的無(wú)縫過渡
? 通過新的自動(dòng)聚焦功能和新的快速鏡筒對(duì) 中算法實(shí)現(xiàn)高速優(yōu)化圖像質(zhì)量。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
■ 金屬 / 高分子 / 陶瓷材料
表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨損分析, 斷口分析, 腐蝕研究, 原位分析。
■ 微納加工
結(jié)構(gòu)分析,表面粗糙度分析, 高深寬比結(jié)構(gòu)表征,膜厚測(cè)量。
■ 半導(dǎo)體和微電子
表面缺陷定位和分析、發(fā)光缺陷觀察,表面粗糙度分析,膜厚測(cè)量等。
■ 醫(yī)療器械檢測(cè)
表面粗糙度分析,金相分析,膜厚測(cè)量,微生物觀察等。
■ 生物材料和醫(yī)學(xué)
金屬表面細(xì)胞生長(zhǎng)研究, 微生物金屬腐蝕研究, 植入物表面細(xì)菌生長(zhǎng)表征等。