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甲烷，化學式CH?，是簡單的烴，由一個碳和四個氫原子通過sp3雜化的方式組成，因此甲烷分子的結(jié)構(gòu)為
分子結(jié)構(gòu)圖

正四面體結(jié)構(gòu)，四個鍵的鍵長相同鍵角相等。極難溶于水。在標準狀態(tài)下甲烷是一無色無味氣體。一些有機物在缺氧情況下分解時所產(chǎn)生的沼氣其實就是甲烷。從理論上說，甲烷的鍵線式可以表示為一個點“·”，但實際并沒有看到過有這種用法，可能原因是“·”號同時可以表示電子。所以在中學階段把甲烷視為沒有鍵線式。

甲烷主要是作為燃料，如天然氣和煤氣，廣泛應用于民用和工業(yè)中。作為化工原料，可以用來生產(chǎn)乙炔 、氫氣、合成氨、碳黑、硝氯基甲烷、二硫化碳、一氯甲烷、二氯甲烷、三氯甲烷、四氯化碳和氫氰酸等。
甲烷基本的氧化反應就是燃燒：

CH?+2O?→CO?+2H?O

甲烷的含氫量在所有烴中是高的，達到了25%，因此相同質(zhì)量的氣態(tài)烴完全燃燒，甲烷的耗氧量高。
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點燃純凈的甲烷，在火焰的上方罩一個干燥的燒杯，很快就可以看到有水蒸氣在燒杯壁上凝結(jié)。倒轉(zhuǎn)燒杯，加入少量澄清石灰水，振蕩，石灰水變渾濁。說明甲烷燃燒生成水和二氧化碳。把甲烷氣體收集在高玻璃筒內(nèi)，直立在桌上，移去玻璃片，迅速把放有燃燒著的蠟燭的燃燒匙伸入筒內(nèi)，燭火立即熄滅，但瓶口有甲烷在燃燒，發(fā)出淡藍色的火焰。這說明甲烷可以在空氣里安靜地燃燒，但不助燃。用大試管以排水法先從氧氣貯氣瓶里輸入氧氣 2/3 體積，然后再通入1/3 體積的甲烷。用橡皮塞塞好，取出水面。將試管顛倒數(shù)次，使氣體充分混和。用布把試管外面包好，使試管口稍微下傾，拔去塞子，迅速用燃著的小木條在試管口引火，即有尖銳的爆鳴聲發(fā)生。這個實驗雖然簡單，但也容易失敗。把玻璃導管口放出的甲烷點燃，把它放入貯滿氯氣的瓶中，甲烷將繼續(xù)燃燒，發(fā)出紅黃色的火焰，同時看到有黑煙和白霧。黑煙是炭黑，白霧是氯化氫氣體和水蒸氣形成的鹽酸霧滴。
在隔絕空氣并加熱至1000℃的條件下，甲烷分解生成炭黑和氫氣

CH?=（1000℃）=C+2H?

氫氣是合成氨及汽油等工業(yè)的原料；炭黑是橡膠工業(yè)的原料

形成水合物
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甲烷可以形成籠狀的水合物，甲烷被包裹在“籠”里。也就是我們常說的可燃冰。它是在一定條件（合適的溫度、壓力、氣體飽和度、水的鹽度、PH值等）下由水和天然氣在中高壓和低溫條件下混合時組成的類冰的、非化學計量的、籠形結(jié)晶化合物（碳的電負性較大，在高壓下能吸引與之相近的氫原子形成氫鍵，構(gòu)成籠狀結(jié)構(gòu)）。它可用mCH?·nH?O來表示，m代表水合物中的氣體分子，n為水合指數(shù)（即水分子數(shù)）。

可燃冰主要儲存于海底或寒冷地區(qū)的凍土帶，比較難以尋找和勘探。新研制的靈敏度的儀器，可以實地即時測出海底土壤、巖石中各種超微量甲烷、乙烷、丙烷及氫氣的含量，由此判斷出可燃冰資源存在與否和資源量等各種指標。

甲烷含量超過99%的天然氣水合物又稱為甲烷水合物。


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硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更的硅氫化合物。目前應用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現(xiàn)精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。
硅烷的著火和爆炸都是與氧氣反應的結(jié)果。硅烷對氧和空氣極為敏感。具有一定濃度的硅烷在- 180℃的溫度下也會與氧發(fā)生爆炸反應。固體硅烷與液氧反應非常危險。硅烷燃燒時火焰呈深黃色, 在氧氣充足的條件下發(fā)生反應:

SiH4+ 2O2=SiO2+ 2H2O ΔH= - 362 kcal/ mol

若氧氣不足, 則有不完全氧化反應發(fā)生:

SiH4+ O2=SiO2+ 2H2 Δ H= - 226 kcal/ mol

燃燒產(chǎn)生的高溫還使部分未反應的硅烷發(fā)生熱分解反應:

SiH4 =Si+ 2H2 ΔH= - 8. 2 kcal/ mol
LD50:- LC50:9600ppm/4小時

毒性效應:

其他注意事項:研究發(fā)現(xiàn)，當老鼠暴露在10000ppm下1小時或 ≥2500ppm下4小時會 對腎產(chǎn)生影響。老鼠暴露在1000ppm，6小時/天，5天/周下2到4周后只有輕微的呼吸道刺激。硅烷會引起細菌的變異。

致癌性:至今未被發(fā)現(xiàn)致癌。
可能之環(huán)境影響/環(huán)境流布:

水中毒性:-

流動性:由于在空氣中自燃，它會在進入土壤之前燃燒掉。

持續(xù)性及生物降解:由于在空氣中燃燒并分解，硅烷不會在環(huán)境中長期存在。

潛在的生物富集:硅烷不會在生物中積累。

注:硅烷不含有任何1類或2類的分解臭氧的化學物質(zhì)。
避免強氧化劑,強堿，鹵素。標準狀態(tài)下氣體密度為1.44g/L，液體的相對密度為0.68(-185℃)。蒸氣壓11mmHg(1mmHg=133.322Pa)(-160℃)、102mmHg(-140℃)、470mmHg(-120℃)。紅外光譜波長2191cm-1、914cm-1。在室溫時為氣體狀態(tài)，在儲存過程中，數(shù)月之內(nèi)無顯著分解。因為甲硅烷幾乎不溶于潤滑脂，可以儲存在瓶塞涂有潤滑脂的容器內(nèi)。

硅烷的化學性質(zhì)比烷烴活潑得多，極易被氧化。在與空氣接觸時可發(fā)生自燃。25℃以下與氮不起作用，室溫下與烴類化合物不起反應。與氧反應異常激烈，即使在-180℃溫度下也會猛烈反應。

硅烷與氟氯烴類滅火劑會發(fā)生激烈反應，所以不能用這類滅火劑滅火。爆炸極限為0.8%~98%。
危害:

眼接觸:硅烷會刺激眼睛。硅烷分解產(chǎn)生無定型二氧化硅。眼睛接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。

吸入:1.吸入高濃度的硅烷會引起頭痛、惡心、頭暈并刺激上呼吸道。

2.硅烷會刺激呼吸系統(tǒng)及粘膜。過度吸入硅烷會引起肺炎和腎病，這是由于存在結(jié)晶二氧化硅的原因。

3.暴露于高濃度氣體中還會由于自燃而造成熱灼傷。

攝入:攝入不可能成為接觸硅烷的途徑。

皮膚接觸:硅烷會刺激皮膚。硅烷分解產(chǎn)生無定型二氧化硅 。皮膚接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。

慢性癥狀:如今不清楚長期暴露于硅烷中對健康的進一步影響。

損害器官:未建立

過度暴露造成的病情惡化 :有皮膚和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物中會加重病情。

致癌性:未被 NTP、OSHA及IARC列為致癌物。
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急救措施

不同暴露途徑之急救方法:

熱灼傷:由于硅烷泄漏引起人員灼傷時應由受過培訓的人員進行急救，并立即尋求醫(yī)療處理。

眼睛接觸:立即用水沖洗少15分鐘，水流不要太快，同時翻開眼瞼。使受難者為"O"形眼，立即尋求眼科處理。

吸入:將患者盡快移到空氣清新處。如有必要由受過培訓的人員進行輸氧或人工呼吸。

皮膚接觸:1.用大量的水沖洗少15分鐘。脫掉已暴露在硅烷中或被污染的衣服，小心不要接觸到眼睛。

2.如果患者有持續(xù)的刺激感或其他進一步的健康影響需立即進行醫(yī)療處理。

醫(yī)生須知:如有必要需吸氧。觀察患者是否有肺炎初期癥狀。
適用滅火劑:切斷氣源滅火。用水霧減少空氣中形成的燃燒產(chǎn)物。不要用鹵化物類滅火器。從遠的距離用水冷卻暴露在火焰中的鋼瓶。

滅火時可能遭遇之特殊危害:

1.可自燃氣體。本產(chǎn)品是一種無色、易與空氣反應的氣體。該氣體通常與空氣接觸會引起燃燒并放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧。

2.如果泄放硅烷時壓力過高或速度過快會引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會非常危險，不要靠近。

3.大多數(shù)鋼瓶設計了溫度升高時的泄放裝置。由于熱量的作用氣瓶內(nèi)壓力會升高，如果泄壓裝置失靈會引起鋼瓶爆炸。

特殊滅火程序:

1.從泄漏區(qū)疏散所有人。如有可能，在沒有危險的情況下切斷氣源之后根據(jù)燃燒的物質(zhì)滅火 。

2.用水霧減少空氣中形成的燃燒產(chǎn)物。水可能對撲滅硅烷的火災不起作用。

3.不要用鹵化物類滅火劑。如有可能，阻止泄漏。

4.不要試圖在切斷氣源之前滅火。這樣可以避免可燃性氣體混合物的累積和重燃。

5.對于小型的泄漏，如果不能阻止泄漏而且泄漏也不會傷害人員，讓火焰自然熄滅。用大量的水為周圍的鋼瓶噴淋降溫，直到火焰熄滅。

6.在大的火災中，應該用自動管支架和控制噴嘴從遠距離滅火 。

7.處理火災初起時，要對眼睛進行保護。如果是大火，需要自給式呼吸器和全身防護服，包括防火服。如有必要，用肥皂水刷洗滅火設備。

有害燃燒產(chǎn)物:包括二氧化硅在內(nèi)的燃燒產(chǎn)物。
清理方法:

1.撤離立即受影響區(qū)域。

2.硅烷是一種可自燃氣體。該氣體通常與空氣接觸會引起燃燒并放出很濃的黃色的無定型二氧化硅煙霧。

3.不受控制的泄漏需要由經(jīng)過培訓的人員按照事先擬好的計劃進行處理。硅烷的泄漏一般都會引起火災。

4.如果硅烷泄放時壓力過高或速度過快會引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會非常危險，不要靠近。

5.如有可能切斷泄漏的氣源，隔離泄漏的鋼瓶。如果不能阻止泄漏(或不能接近閥門)，讓鋼瓶在原地泄放或?qū)撈恳频揭粋€安全的地方泄放。

6.若從容器內(nèi)及泄壓閥或其他閥門泄漏，請與供商聯(lián)系。

7.若泄漏來自用戶系統(tǒng)，關掉鋼瓶閥門，在修復定要泄壓并用惰性氣體吹掃。

8.所有人員都要有防護，泄漏區(qū)要受到控制。

9.所有應急反應人員都要有適當?shù)姆雷o，以避免暴露于硅烷中。監(jiān)測周圍環(huán)境中的硅烷含量。只有硅烷含量在允許范圍內(nèi)時(見第二部分)，人員才能在沒有自給式呼吸器的情況下進入。進入前，可燃性氣體的濃度一定要低于0.14%，也就是硅烷LEL的10%。進入前要爭取關閉氣體的總閥門。
儲存:

1.在通風良好、安全且不受天氣影響的地方存儲。鋼瓶應直立擺放。且保持保護性閥蓋和輸出閥的密封完好。

2.存儲區(qū)域應遠離頻繁出入處和緊急出口。儲存區(qū)域內(nèi)不應有火源，儲存區(qū)內(nèi)所有電器有防爆設施。易燃物存放區(qū)應與氧及氧化物存放區(qū)少相距20ft 。

3.或者在中間放置至少5英尺高的非易燃材料作為屏障，以能耐火半小時。儲存區(qū)和使用區(qū)內(nèi)應有"禁止吸煙和使用明火"的告示牌。4.存儲溫度不可125℉(52℃)。將空瓶與滿瓶分開存放。避免過量存儲和存儲時間過長。

5.使用先出系統(tǒng)。應考慮在儲存區(qū)內(nèi)安裝測漏器和報警設備。

使用:

1.使用防火花工具。不要試圖對裝有硅烷的鋼瓶進行修理、調(diào)節(jié)或其他改動。

2.如果出現(xiàn)故障或其他操作問題，請立即與近的分銷商聯(lián)系。

3.如有可能應避一個人操作鋼瓶。所有的操作都應這樣進行--一旦發(fā)生泄漏，處理緊急情況的人員可以立即趕到。

4.用氫離子檢測器監(jiān)測硅烷的修理和在空氣中的擴散，用紅外/紫外監(jiān)測器監(jiān)測火災 。所以的監(jiān)測器都應有內(nèi)鎖，一旦發(fā)現(xiàn)問題立即自動切斷硅烷氣源。

5.監(jiān)測系統(tǒng)應裝備備用或應急電源。有遙控緊急開關，必要時可關閉硅烷氣源。

6.硅烷系統(tǒng)中不允許使用填壓閥，只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統(tǒng)中應安裝過流閥或過流開關。這樣可以在下游管線發(fā)生爆炸時切斷氣源。這個開關閥應安裝得離氣源越近越好。

7.一定不要拉、滾動或滑動容器。用合適的手推車來移動容器，不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。氣瓶在使用的全過程中為固定狀態(tài)。

8.用一個減壓器或立的控制閥安全地從氣瓶內(nèi)釋放氣體。用單向閥來防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。

9.一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過的系統(tǒng)連接好，應緩慢仔細地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難，需停止使用，并與供應商聯(lián)系。

10.不可將工具(如:扳手，螺絲刀，等) 插入閥蓋內(nèi)。 否則會損壞閥門并引起泄漏。

11.使用可調(diào)節(jié)的帶扳手來打開過緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關設備接地。電器設備防火花和防爆。
特殊注意事項:

1.系統(tǒng)溫度不可低于-170℉ (-112℃)，否則可能會吸入空氣形成爆炸性混合物。

2.不要讓硅烷與重金屬鹵化物或鹵素接觸，硅烷與它們劇烈反應。應仔細吹掃系統(tǒng)，以防殘留有脫脂劑，其中所含的鹵素或其他含氯的碳氫化合物。

3.用二至三倍的工作壓力對系統(tǒng)進行全面加壓檢漏，好使用氦氣。此外，還應建立和執(zhí)行常規(guī)的檢漏制度。

4.系統(tǒng)檢漏或因其他原因打開之后，應使用抽真空或惰性氣體吹掃的方法將系統(tǒng)中的空氣吹掃干凈。在打開任何裝有硅烷的系統(tǒng)之前用惰性氣體全面吹掃系統(tǒng)。如果系統(tǒng)中的任何部分有死角或可能殘留硅烷的地方，抽真空循環(huán)吹掃。

5.應將硅烷排放到一個處理它的地方，好是將它燃燒掉。即使硅烷濃度較低也十分危險，不能暴露在空氣中。硅烷在被惰性氣體稀釋成不可燃的氣體后也可以排空。

6.應按照美國壓縮氣體協(xié)會的要求儲存和使用壓縮氣體。當?shù)乜赡軐Υ婧褪褂脷怏w要求有特殊的設備規(guī)定。
工程控制:在使用和儲藏該產(chǎn)品的區(qū)域或其鄰近區(qū)域應安裝硅烷探測器。提供充足的自然或防爆通風以防止氣體濃度的增加，確保硅烷沒有達到1.4%燃燒下限。如適用，安裝自動監(jiān)視設備來探測爆炸性混合空氣和氧含量。

控制參數(shù):

八小時日時量平均容許濃度(TLV):5ppm

短時間時量平均容許濃度(STEL):-

高容許濃度:-

生物指針:-

個人防護設備:

呼吸防護:

1.能引起快速窒息的高濃度也在其燃燒極限范圍內(nèi)，不能進入。

2.緊急情況時需使用逃生用自給式呼吸器。

眼睛防護:

1.佩戴防濺眼鏡或有側(cè)防護的安全眼鏡和面罩。

2.確保使用該產(chǎn)品的附近區(qū)域有安全淋浴及洗眼器。

皮膚及身體防護:當操作鋼瓶時使用工作手套，在緊急情況時使用防火手套和防火衣。處理泄漏時戴兩副手套。

其其它防護設備:工作時使用恰當?shù)纳眢w防護用品，推薦使用防靜電衣，操作鋼瓶時建議穿安全鞋。
未使用過的產(chǎn)品/空的鋼瓶:將容器及未用的產(chǎn)品返回給供應商。不要將剩余或未用的 產(chǎn)品擅自處理掉。

處理方法:系統(tǒng)中剩余的硅烷應在適當?shù)娜紵髦袩?。該過程應根據(jù)當?shù)氐姆ㄒ?guī)進行。含有該物質(zhì)的廢物被EPA列位有害廢物。按照當?shù)氐姆ㄒ?guī), 用戶要注明廢料的流向。
包裝方法:鋼質(zhì)氣瓶;安瓿瓶外普通木箱。


運輸注意事項:采用剛瓶運輸時戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放，并應將瓶口朝同一方向，不可交叉;高度不得超過車輛的防護欄板，并用三角木墊卡牢，防止?jié)L動。運輸時運輸車輛應配備相應品種和數(shù)量的消防器材。裝運該物品的車輛排氣管配備阻火裝置，禁止使用易產(chǎn)生火花的機械設備和工具裝卸。嚴禁與氧化劑、堿類、鹵素、食用化學品等混裝混運。夏季應早晚運輸，防止日光曝曬。中途停留時應遠離火種、熱源。公路運輸時要按規(guī)定路線行駛。鐵路運輸時要禁止溜放。

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上海浦煦流體控制系統(tǒng)有限公司致力于推動氣體的利用、不斷為客戶創(chuàng)造價值的使命，專注于制 造的高純及純氣體減壓器、氣體閥門，產(chǎn)品包括氣體混配器、全自動氣瓶柜、調(diào)壓閥、隔膜 閥、單向閥、過濾器等，同時為客戶提供流體系統(tǒng)的工程設計及施工。產(chǎn)品廣泛應用于裝備制造、半導 體、光伏、***等行業(yè)。

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GC5000系列UHP供氣用氣瓶柜采用冷軋?zhí)间摪搴附佣?SUS304不銹鋼板可選),有效隔離氣瓶與工作 環(huán)境，分單瓶、二瓶、三瓶及四瓶四種規(guī)格，氣瓶柜頂部設有抽風口，

對于有毒有害氣體在供氣時建議***一定排風量，以確保安全使用。氣瓶柜正面門板下部設置有通風百葉， 有利于加強氣柜通風效果。

GC5000 系列氣瓶柜設置有8mm 不銹鋼絲加強鋼化玻璃透明視窗，方便用氣過程中監(jiān)控。

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直燃+水洗式尾氣處理爐AR-FUEL WET TYPE GAS ABATEMENT SCRUBBER

SB770W 為燃氣與空氣預混動力燃燒式尾氣處理爐，燃燒腔水冷，經(jīng)燃燒處理 后的尾氣經(jīng)過進一步水洗、過濾后高空放散或排入中央洗滌塔。

應 用

■應用于ETCH,CVD,DIFF 等半導體行業(yè)工藝過程中產(chǎn)生 的廢氣處理，氣體種類包括：

腐蝕性氣體(Cl2,F2,HCl,HF,BCl3,HBr 等 )

可燃性氣體(SiH4,TEOS,DCS 等 )



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產(chǎn)品特點

結(jié)構(gòu)簡單，可靠，處理效***

尾氣燃燒、水洗，尤其適用于酸堿性尾氣處理

低氮燃燒器，處理能力大(1000SLPM, 含吹掃置換氮氣),處理效***； PLC 全自動控制，模塊化結(jié)構(gòu)，交貨快

待機、沉積、清潔三個過程快速響應，三種運行模式，能源消耗少 標配粉塵刮刀

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