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隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，產(chǎn)品性能的不斷提高和改善，對(duì)半導(dǎo)體的表面質(zhì)量要求越來(lái)越嚴(yán)格，迫使行業(yè)內(nèi)的清洗裝置也在逐步的改善。
產(chǎn)品特點(diǎn)：耐高溫，使用溫度在-200~+260℃；耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿等強(qiáng)腐蝕樣品，比如：王水、魔酸、氫fu酸、鹽酸、硝酸、liu酸等以及各種有機(jī)溶劑；低的溶出和析出，金屬元素空白值低，鉛鈾含量小于0.01ppb；
應(yīng)用行業(yè)：半導(dǎo)體、多晶硅、太陽(yáng)能、鋰電池、新材料、新能源等；現(xiàn)有規(guī)格：PFA4寸花籃+PFA4寸提手，PFA6寸花籃+PFA6寸提手；
PFA的特點(diǎn)它能耐受清洗溶液的腐蝕性，同時(shí)金屬元素空白值低，無(wú)溶出無(wú)析出，不會(huì)污染芯片晶圓等。
半導(dǎo)體晶圓清洗槽尺寸可按要求定做。同時(shí)可定制配套蓋子，防止污染。
二、特點(diǎn)：
1、外觀半透明，易觀察槽內(nèi)試劑情況；
2、耐高低溫：-200～+260℃
3、耐腐蝕：耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、王水、氫fu酸和各種有機(jī)溶劑；
4、耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無(wú)關(guān)；
5、防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；
6、低的溶出和析出，不會(huì)污染芯片、晶圓、硅片等；
8、化學(xué)性能穩(wěn)定，可恢復(fù)性好，不易變形；
9.特氟龍塑料，經(jīng)久耐用，不易碎
尖頭：用于夾取比較小的樣品，如太陽(yáng)能硅片、鋰片等。
扁頭：用于夾取片狀、薄狀樣品，可以避免因夾取時(shí)接觸面積較小，而使所夾取樣品滑落；頭部可以做成帶齒狀的，夾取特殊樣品時(shí)，更加方便、實(shí)用。
